[發明專利]磁浮重力補償裝置以及包括該裝置的運動臺

有效

• 申請號: 202011379009.X
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN112201611B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 胡兵;江旭初;袁嘉欣;蔣赟
• 申請（專利權）人: 上海隱冠半導體技術有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H02N15/00
• 代理公司: 上海上谷知識產權代理有限公司 31342
• 代理人: 蔡繼清

1.一種磁浮重力補償裝置，其特征在于，包括：

內基磁鋼，所述內基磁鋼沿軸向延伸；

第一端部磁鋼和第二端部磁鋼，所述第一端部磁鋼和所述第二端部磁鋼分別位于所述內基磁鋼的兩個軸向端并沿軸向延伸，且所述第一端部磁鋼和第二端部磁鋼的外徑分別沿遠離所述內基磁鋼的所述兩個軸向端方向逐漸增大；

外磁環磁鋼，所述外磁環磁鋼呈筒狀，與所述內基磁鋼同軸地位于所述內基磁鋼外且與所述內基磁鋼徑向間隔開。

2.根據權利要求1所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，所述第一端部磁鋼和所述第二端部磁鋼的充磁方向為從所述內基磁鋼沿軸向向外，所述外磁環磁鋼的充磁方向為徑向向外。

3.根據權利要求1所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，所述第一端部磁鋼和所述第二端部磁鋼相對于所述內基磁鋼的軸向平分面鏡像對稱。

4.根據權利要求1所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，所述內基磁鋼、所述第一端部磁鋼和所述第二端部磁鋼中心軸線彼此重合且關于所述中心軸線旋轉對稱。

5.根據權利要求1所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，

所述內基磁鋼具有軸向通孔，所述第一端部磁鋼和第二端部磁鋼具有軸向通孔。

6.根據權利要求1所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，

所述內基磁鋼呈圓筒狀，所述第一端部磁鋼由沿軸向彼此鄰接的多段筒狀磁鋼組成，所述第二端部磁鋼由沿軸向彼此鄰接的多段筒狀磁鋼組成，所述多段筒狀磁鋼的內徑相同，而各外徑從遠離所述內基磁鋼的筒狀磁鋼朝向靠近所述內基磁鋼的筒狀磁鋼依次減小。

7.根據權利要求1或6所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，

所述第一端部磁鋼的多段筒狀磁鋼中各相鄰筒狀磁鋼的外徑之差相等，且軸向長度相等；以及

所述第二端部磁鋼的多段筒狀磁鋼中各相鄰筒狀磁鋼的外徑之差相等，且軸向長度相等。

8.根據權利要求6所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，所述第一端部磁鋼由沿軸向彼此鄰接的三段筒狀磁鋼組成，所述第二端部磁鋼由沿軸向彼此鄰接的三段筒狀磁鋼組成。

9.根據權利要求1或6所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，所述第一端部磁鋼和所述第二端部磁鋼中最遠離所述內基磁鋼的筒狀磁鋼的外徑為R₅，軸向長度為L₅，內基磁鋼的外徑為R₂，外磁環磁鋼的軸向長度為L₁，其中R₂/2≤R₅≤R₂，L₁/4≤L₅≤L₁/2。

10.根據權利要求6所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，

所述內基磁鋼的軸向通孔的徑向尺寸與所述第一端部磁鋼和第二端部磁鋼的軸向通孔的徑向尺寸相同。

11.根據權利要求6所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，

所述第一端部磁鋼和第二端部磁鋼的軸向通孔的徑向尺寸自遠離所述內基磁鋼的端部朝向所述內基磁鋼減小。

12.根據權利要求11所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，

所述第一端部磁鋼和第二端部磁鋼的所述軸向通孔的內周面與徑向方向的夾角β與所述第一端部磁鋼和第二端部磁鋼的外周面與徑向方向的夾角α的關系為α≤β≤135°。

13.根據權利要求1所述的磁浮重力補償裝置，其特征在于，

所述外磁環磁鋼由沿周向彼此鄰接的多個弧形板組成。