[發明專利]擴展ATE數字通道數量的方法及裝置

在審

• 申請號: 202011378905.4
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN112198421A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 袁常樂;關姜維;左上勇;駢文勝
• 申請（專利權）人: 上海偉測半導體科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 上海啟核知識產權代理有限公司 31339
• 代理人: 王仙子

本發明揭示了一種擴展ATE數字通道數量的方法及裝置。包括：根據產品的測試需要選取需要扇出的信號引腳，由輸入信號扇出模塊實現測試機的數字通道平行的扇出；根據對測試機的數字通道平行的扇出設計外圍硬件電路，由所述測試機控制特定工位是否需要加載驅動信號；根據所述外圍硬件電路的設計進行測試程序的開發和調試；以及進行測試驗證。本發明能夠提升測試效率。

技術領域

本發明涉及半導體測試領域，特別是涉及一種擴展ATE數字通道數量的方法及裝置。

背景技術

對于半導體集成電路測試來說，提升測試效率降低測試成本最有效的方法是提高測試的并行工位（site）的數量。工位數量越多同時進行測試的芯片的數量也就越多，進而效率也就越高，測試成本也就越低。

但是在集成電路進行測試的時候我們需要自動化測試設備給芯片的輸入施加正確的激勵。并且需要對集成電路的輸出信號進行采樣和判斷。無論是施加激勵或者進行判斷都需要測試機能夠獨立自主的對芯片的每個信號引腳輸入正確的信號。而且，還能對測試中出現缺陷的芯片不繼續施加激勵。同樣這樣的需求也適用于數字的芯片。

從測試需求來說業界希望測試的工位數量越多越好。但是，測試機的資源是非常有限的。采用傳統的方法一個數字通道直接驅動芯片的一個信號引腳，如實例中產品測試需要：41個數字IO，其中26個為輸入數字IO，15個輸出數字IO，0個雙向數字IO，如果按照傳統的測試方案這樣的產品在512數字IO的測試機只能做12個工位。但是，這樣就會出現測試成本高并且測試效率比較低下的情況。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種擴展ATE數字通道數量的方法及裝置，提高測試的效率，降低測試成本。

為解決上述技術問題，根據本發明的第一方面，提供一種擴展ATE數字通道數量的方法，包括：

根據產品的測試需要選取需要扇出的信號引腳，由輸入信號扇出模塊實現測試機的數字通道平行的扇出；

根據對測試機的數字通道平行的扇出設計外圍硬件電路，由所述測試機控制特定工位是否需要加載驅動信號；

根據所述外圍硬件電路的設計進行測試程序的開發和調試；以及

進行測試驗證。

本發明實現一個測試機通道根據需要驅動相同的信號到任一工位進而實現提高測試的并行效率減低單個產品測試成本的目的。

在本發明的一個實施例中，根據產品的測試需要選取需要扇出的信號引腳包括：

根據產品的測試需要確定需要的數字IO數量并將其分成輸入數字IO、輸出數字IO和雙向數字IO。

在本發明的一個實施例中，所述輸入信號扇出模塊包括模擬開關。

在本發明的一個實施例中，根據對測試機的數字通道平行的扇出設計外圍硬件電路，由所述測試機控制特定工位是否需要加載驅動信號的步驟包括：

使用測試機的數字板卡資源作為所述模擬開關的輸入，所述模擬開關的輸出連接到待測試的產品的輸入端，所述測試機的繼電器控制資源作為所述模擬開關的輸出的控制電路，控制特定工位是否需要加載驅動信號。

在本發明的一個實施例中，根據所述外圍硬件電路的設計進行測試程序的開發和調試的步驟包括：

根據上一次結果確定每個工位是否加載驅動并控制所述繼電器控制資源；

執行測試項目；

重復執行上述過程直至每個測試項目均已調試正確。

在本發明的一個實施例中，所述進行測試驗證包括對測試結果、測試穩定性和測試數據進行驗證。