[發明專利]探針卡裝置及雙臂式探針

在審

• 申請號: 202011373644.7
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN115963300A
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 謝開杰;蘇偉志;陳弘明;李帥
• 申請（專利權）人: 臺灣中華精測科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;閆華

1.一種探針卡裝置，其特征在于，所述探針卡裝置包括：

一第一導板單元與一第二導板單元，其彼此間隔地設置；以及

多個雙臂式探針，穿設于所述第一導板單元與所述第二導板單元；每個所述雙臂式探針定義有一長度方向且在所述長度方向上具有一針長度，并且每個所述雙臂式探針的外表面包含有平行所述長度方向且分別位于相反兩側的兩個寬側面；其中，每個所述雙臂式探針包含有：

一分叉端部，位于遠離所述第二導板單元的所述第一導板單元的一外側，并且所述分叉端部具有一分叉口；及

一測試端部，位于遠離所述第一導板單元的所述第二導板單元的一外側，并且所述測試端部用來可分離地頂抵于一待測物；

其中，每個所述雙臂式探針自所述分叉口沿所述長度方向朝向所述測試端部延伸形成有自兩個所述寬側面的其中之一貫穿至其中另一的一分隔槽，以使每個所述雙臂式探針通過所述分隔槽而定義有彼此間隔一距離的兩個支臂；其中，每個所述雙臂式探針的所述分隔槽在所述長度方向上的一槽長度是介于所述針長度的50％～90％，而多個所述雙臂式探針的其中一個所述雙臂式探針的所述距離不同于其中另一個所述雙臂式探針的所述距離；

其中，于垂直所述長度方向的每個所述雙臂式探針的兩個所述支臂的截面中，任一個所述支臂的截面積為另一個所述支臂的截面積的90％～110％。

2.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，至少一個所述雙臂式探針在兩個所述支臂彼此相向的兩個內表面的其中一個所述內表面上形成有呈突出狀的至少一個間隔肋；其中，當所述第一導板單元與所述第二導板單元彼此斜向錯位時，具有至少一個所述間隔肋的至少一個所述雙臂式探針，其兩個所述支臂通過至少一個所述間隔肋而保持彼此間隔。

3.依據權利要求2所述的探針卡裝置，其特征在于，在具有至少一個所述間隔肋的至少一個所述雙臂式探針中，兩個所述內表面的其中另一個所述內表面凹設形成有位置對應于至少一個所述間隔肋的至少一個限位缺口，并且至少一個所述限位缺口的深度小于至少一個所述間隔肋的高度。

4.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，位于所述第一導板單元內的每個所述雙臂式探針的部位定義為一第一連接部，并且位于所述第二導板單元內的每個所述雙臂式探針的部位定義為一第二連接部；于至少一個所述雙臂式探針中，所述分隔槽是自所述分叉口延伸至所述第二連接部。

5.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，位于所述第一導板單元與所述第二導板單元之間的每個所述雙臂式探針的部位定義為一行程部；于每個所述雙臂式探針中，所述行程部的兩個末端部位各在任一個所述寬側面上的寬度大于位于兩個所述末端部位之間的所述行程部的主體部位在任一個所述寬側面上的寬度。

6.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述探針卡裝置進一步包含有鄰近所述第一導板單元的一信號轉接板；在至少一個所述雙臂式探針中，兩個所述支臂在所述長度方向上具有不同的長度，并且兩個所述支臂僅其中一個所述支臂頂抵于所述信號轉接板。

7.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述探針卡裝置進一步包含有鄰近所述第一導板單元的一信號轉接板；在至少一個所述雙臂式探針中，兩個所述支臂在所述長度方向上具有相同的長度，并且兩個所述支臂一同頂抵于所述信號轉接板。

8.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，每個所述雙臂式探針的所述外表面包含平行所述長度方向且分別位于相反兩側的兩個窄側面；于每個所述雙臂式探針中，任一個所述支臂在所述寬側面上的厚度為任一個所述窄側面的寬度的20％～100％。