[發明專利]一種冷卻系統及其控制方法

有效

• 申請號: 202011367687.4
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN112746261B
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發明（設計）人: 崔剛赫
• 申請（專利權）人: 樂金顯示光電科技（中國）有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/24
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明實施例公開了一種冷卻系統及其控制方法。該冷卻系統包括：N個冷卻器、M*N個待冷卻設備以及多個閥門；冷卻器包括主冷卻單元和備用冷卻單元；各主冷卻單元的出口以及各備用冷卻單元的出口通過其對應的第一支路管道連接至第一干路管道，各待冷卻設備的冷卻液入口通過其對應的第二支路管道連接至第一干路管道；各主冷卻單元的入口以及各備用冷卻單元的入口通過其對應的第三支路管道連接至第二干路管道，各待冷卻設備的冷卻液出口通過其對應的第四支路管道連接至第二干路管道；各第一支路管道以及各第三支路管道上均設置有閥門。本發明實施例提供的技術方案可以向待冷卻設備提供流量充足的冷卻液以及數量較多的備用冷卻單元。

技術領域

本發明實施例涉及蒸鍍設備技術領域，尤其涉及一種冷卻系統及其控制方法。

背景技術

蒸鍍設備的工作原理是，在真空條件下，采用一定的加熱蒸發方式蒸發鍍膜材料(或稱膜料)并使之氣化，粒子飛至基片表面凝聚成膜。蒸鍍設備憑借成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結構和性能獨特等優點，廣泛應用于顯示面板等領域。

蒸鍍設備在實際應用過程中，通常需要進行冷卻處理以營造出正常工作所需的溫度環境。因此，研制一種能夠為蒸鍍設備提供流量充足的冷卻液的冷卻系統成為當前的迫切需求。

發明內容

本發明的目的在于：提供一種冷卻系統，其能夠為待冷卻設備提供流量充足的冷卻液，還能夠為待冷卻設備提供數量較多的備用冷卻單元，以確保待冷卻設備快速地冷卻至目標溫度。

為達上述目的，本發明采用以下技術方案：

提供一種冷卻系統，包括：N個冷卻器、M*N個待冷卻設備以及多個閥門；其中，M和N均為正整數，M小于3，N大于等于3；

所述冷卻器包括主冷卻單元和備用冷卻單元；

各所述主冷卻單元的出口以及各備用冷卻單元的出口通過其對應的第一支路管道連接至第一干路管道，各所述待冷卻設備的冷卻液入口通過其對應的第二支路管道連接至所述第一干路管道；

各所述主冷卻單元的入口以及各備用冷卻單元的入口通過其對應的第三支路管道連接至第二干路管道，各所述待冷卻設備的冷卻液出口通過其對應的第四支路管道連接至所述第二干路管道；

各所述第一支路管道以及各所述第三支路管道上均設置有閥門。

作為冷卻系統的一種優選方案，M＝2。

作為冷卻系統的一種優選方案，N＝3。

作為冷卻系統的一種優選方案，所述第一干路管道中連接不同所述冷卻器的部分上設置有閥門。

作為冷卻系統的一種優選方案，各所述第二支路管道上均設置有閥門。

作為冷卻系統的一種優選方案，每兩個所述待冷卻設備構成待冷卻設備組；

所述第二支路管道包括一段主干段和M段分支段，M段所述分支段的第一端均與所述主干段的第一端連接，所述主干段的第二端與所述第一干路管道連接，M段所述分支段的第二端與其對應的所述待冷卻設備組的冷卻液入口連接。

作為冷卻系統的一種優選方案，各所述分支段上設置有閥門。

作為冷卻系統的一種優選方案，所述冷卻系統還包括：

故障檢測模塊，所述故障檢測模塊用于檢測各所述冷卻器的故障信息；

故障信息展示模塊，所述故障信息展示模塊與所述故障檢測模塊電連接，所述故障信息展示模塊用于展示所述故障信息報警；

報警模塊，所述報警模塊與所述故障檢測模塊電連接；所述報警模塊用于響應于所述故障信息。

作為冷卻系統的一種優選方案，所述冷卻系統還包括：