[發明專利]探針卡載側出氣孔

有效

• 申請號: 202011365585.9
• 申請日: 2020-07-01
• 公開（公告）號: CN112327020B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 趙梁玉;王艾琳;王興剛;周明
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.探針卡載側出氣孔，其特征在于，按照恒溫空氣流動方向，橫截面積逐漸增大，在側出氣孔（1-2）的外端部，形狀為寬度大于高度的矩形；在側出氣孔（1-2）的外端部下方，轉軸連接有擋板（1-2-1），所述擋板（1-2-1）的另一側邊緣安裝有拉繩（1-2-2），所述拉繩（1-2-2）從側出氣孔（1-2）的上方穿出，在側出氣孔（1-2）的上方，還設置有拉繩固定端（1-2-3），所述拉繩固定端（1-2-3）包括框架（1-2-3-1），設置在框架（1-2-3-1）中并能夠沿框架（1-2-3-1）上下運動的固定板（1-2-3-2），位于固定板（1-2-3-2）下方和框架（1-2-3-1）底部上方的壓簧（1-2-3-3），位于框架（1-2-3-1）上方的開關（1-2-3-4），所述開關（1-2-3-4）通過穿過框架（1-2-3-1）的支架（1-2-3-5）連接到固定板（1-2-3-2）上，拉繩（1-2-2）從固定板（1-2-3-2）的上方穿過框架（1-2-3-1），在壓簧（1-2-3-3）的作用下，擠在固定板（1-2-3-2）與框架（1-2-3-1）之間，需要調整的時候，按動開關（1-2-3-4），使固定板（1-2-3-2）向下運動，調整拉繩（1-2-2），在調整好位置后，松開開關（1-2-3-4）即可；

所述的探針卡載側出氣孔，用于功率器件高溫高壓測試探針卡；

所述功率器件高溫高壓測試探針卡從上到下依次設置進氣系統（1）、PCB板（2）、轉接層（3）、導引板（4）和探針（5）；所述進氣系統（1）底部具有多個下出氣孔（1-1）和側出氣孔（1-2），所述PCB板（2）上分布有與下出氣孔（1-1）位置、形狀和數量均相同的第一通孔（2-1），所述轉接層（3）上分布有與下出氣孔（1-1）位置、形狀和數量均相同的第二通孔（3-1），所述導引板（4）上分布有與下出氣孔（1-1）位置、形狀和數量均相同的第三通孔（4-1），下出氣孔（1-1）、第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）同軸設置，從下出氣孔（1-1）噴射出的高溫高壓氣體，依次經過第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）后，吹入導引板（4）與被測晶圓（6）之間；

所述進氣系統（1）還包括泄壓孔（1-3），所述泄壓孔（1-3）底部還設置有調節閥（1-4）；所述調節閥（1-4）為三層階梯結構，包括截面直徑依次減小的下層階梯（1-4-1）、中層階梯（1-4-2）和上層階梯（1-4-3），所述下層階梯（1-4-1）和中層階梯（1-4-2）之間設置有密封圈（1-4-4），下層階梯（1-4-1）的截面直徑大于泄壓孔（1-3）截面直徑，中層階梯（1-4-2）的截面直徑與泄壓孔（1-3）截面直徑之間為間隙配合關系，上層階梯（1-4-3）套有螺紋；所述泄壓孔（1-3）內壁攻有螺紋，并旋擰有調整件（1-5），所述調整件（1-5）包括接觸端（1-5-1）、連接端（1-5-2）和螺紋端（1-5-3），所述接觸端（1-5-1）為環形，外壁套有螺紋，旋擰在泄壓孔（1-3）的內壁，所述連接端（1-5-2）為多個，在圓周方向均勻分布，每個連接端（1-5-2）均連接在接觸端（1-5-1）內壁與螺紋端（1-5-3）之間，所述螺紋端（1-5-3）外壁套有螺紋，且與上層階梯（1-4-3）的螺紋參數相同，螺紋端（1-5-3）底部設置有一字或十字凹槽，彈簧（1-6）分別連接在上層階梯（1-4-3）外壁與螺紋端（1-5-3）外壁之間。

2.根據權利要求1所述的探針卡載側出氣孔，其特征在于，泄壓結構的標定方法包括以下步驟：

步驟a、設定高溫高壓氣體壓強閾值；

步驟b、將調整件（1-5）的接觸端（1-5-1）旋擰入泄壓孔（1-3）中；

步驟c、將彈簧（1-6）的上端旋擰在調整件（1-5）的螺紋端（1-5-3），將彈簧（1-6）的下端旋擰在調節閥（1-4）的上層階梯（1-4-3），將調節閥（1-4）的下端連接拉力測量裝置；

步驟d、拉動拉力測量裝置，彈簧伸長，至拉力測量裝置顯示的拉力數值除以中層階梯（1-4-2）截面直徑等于壓強閾值的位置；

步驟e、測量進氣系統（1）底部距離中層階梯（1-4-2）的距離；

步驟f、拆卸拉力測量裝置、調節閥（1-4）和彈簧（1-6）；

步驟g、旋擰調整件（1-5），使調整件（1-5）沿泄壓孔（1-3）向上運動步驟e所述的距離；

步驟h、將彈簧（1-6）的上端旋擰在調整件（1-5）的螺紋端（1-5-3），將彈簧（1-6）的下端旋擰在調節閥（1-4）的上層階梯（1-4-3）。