[發明專利]一種光刻機用混合光源發生裝置

在審

• 申請號: 202011363096.X
• 申請日: 2020-11-28
• 公開（公告）號: CN112379576A
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 王華;吳中海;甘泉
• 申請（專利權）人: 東莞科視自動化科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所(普通合伙) 44231
• 代理人: 成偉

本發明公開了一種光刻機用混合光源發生裝置，包括激光源、LED光源組件、激光限位板、光源基座和底座，所述激光限位板、光源基座和底座從上到下順序排列；所述光源基座的中心設有激光源安裝位，所述光源基座上還設有圍繞所述激光源安裝位分布的LED光源安裝位，所述激光源的一端貫穿所述激光限位板，另一端安裝在所述激光源安裝位上；所述LED光源組件安裝在所述LED光源安裝位上；所述底座與光源基座連接形成一空腔，所述底座上設有出光口；其中，所述激光源與所述出光口位于同一軸線上。本發明中，激光源作為主光源，LED光源作為輔助光源，當激光源的能量因衰減而達不到預期能量時，LED光源對其進行補償，有效地提高了光刻機的使用壽命。

技術領域

本發明涉及光刻光源技術領域，具體為一種光刻機用混合光源發生裝置。

背景技術

光刻機是半導體產業中最關鍵的設備，它決定著芯片的性能、大小等最核心的地方。而光刻機最重要的部件之一曝光光源影響著光刻機的整體性能。光刻機一般選用半導體激光器作為曝光光源，而激光存在衰減的問題，使用一段時間后會出現能量達不到預期的情況，影響光刻機的整體性能。

發明內容

本發明的目的在于提供一種光刻機用混合光源發生裝置，激光源作為主光源，LED光源作為輔助光源，當激光源的能量因衰減而達不到預期能量時，LED光源對其進行補償，有效地提高了光刻機的使用壽命。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種光刻機用混合光源發生裝置，包括激光源、LED光源組件、激光限位板、光源基座和底座，所述激光限位板、光源基座和底座從上到下順序排列；所述光源基座的中心設有激光源安裝位，所述光源基座上還設有圍繞所述激光源安裝位分布的LED光源安裝位，所述激光源的一端貫穿所述激光限位板，另一端安裝在所述激光源安裝位上；所述LED光源組件安裝在所述LED光源安裝位上；所述底座與光源基座連接形成一空腔，所述底座上設有出光口；其中，所述激光源與所述出光口位于同一軸線上

在其中一個實施例中，所述LED光源組件包括鏡筒、固定座和LED光源，所述鏡筒與所述固定座連接，并貫穿所述LED光源安裝位；所述固定座固定在所述LED光源安裝位上；所述LED光源固定在所述固定座的上，位于所述固定座與鏡筒形成的空腔中。

在其中一個實施例中，所述LED光源安裝位包括供所述鏡筒插入的鏡筒安裝孔和供所述固定座固定連接的第一螺孔，所述固定座上設有與所述第一螺孔相適配的第二螺孔，所述第一螺孔和第二螺孔通過螺栓固定連接。

在其中一個實施例中，所述鏡筒安裝孔的內壁上設有內螺紋，所述鏡筒設有外螺紋，所述鏡筒與鏡筒安裝孔螺紋連接。

在其中一個實施例中，所述光源基座的一側表面為曲面，所述底座位于所述曲面的相對側，所述激光源安裝位和LED光源安裝位均設置在所述曲面上。

在其中一個實施例中，還包括頂板，所述頂板位于所述激光限位板上方，所述頂板與底座之間連接有連接柱，所述連接柱貫穿所述激光限位板。

在其中一個實施例中，所述激光限位板和頂板上均設有供所述激光源穿過的通孔。

在其中一個實施例中，所述激光源上固定套設有一固定環，所述固定環固定連接在所述激光源安裝孔上。

在其中一個實施例中，所述固定環上設有第三螺孔；所述激光源安裝位包括激光源安裝孔和第四螺孔，所述激光源貫穿所述激光源安裝孔，所述第三螺孔和第四螺孔通過螺栓固定連接。

本發明光刻機用混合光源發生裝置中，激光源作為主光源，LED光源作為輔助光源，當激光源的能量因衰減而達不到預期能量時，LED光源對其進行補償，有效地提高了光刻機的使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明的立體結構示意圖；