[發明專利]C、Al雙元素注入制備低摩擦氟硅橡膠表面的方法

有效

• 申請號: 202011362699.8
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN112376033B
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 張斌;賈倩;張俊彥;楊生榮;王宏剛
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘭州化學物理研究所
• 主分類號: C23C14/48
• 分類號: C23C14/48;C23C14/06;C23C14/20;C08J7/12
• 代理公司: 蘭州智和專利代理事務所(普通合伙) 62201
• 代理人: 張英荷

1.C、Al雙元素注入制備低摩擦氟硅橡膠表面的方法，是采用真空電弧離子源，在氟硅橡膠表面依次注入C、Al，獲得機械強度改善的低摩擦氟硅橡膠表面；具體包括以下步驟：

（1）將氟硅橡膠進行清洗去除表面污染物；

（2）將清洗后的氟硅橡膠放入真空腔，真空抽至1×10^-4 Pa；真空腔內安裝有C、Al靶材作為注入材料；

（3）打開電弧電源，調節C靶電流為35~50 A ，占空比為40%，產生束電流密度為0.25~0.5 A/100cm²·s；

（4）控制加速電壓-25 kV，額定電流90 A，頻率1~5 kHz，采用真空電弧離子源在氟硅橡膠表面注入C，時間為100~300s；真空電弧離子源采用Mevva-5·Ru真空電弧離子源；

（5）關閉C靶同時打開Al靶，調節Al靶電流為30~50 A，占空比為60%，產生束電流密度為0.25~0.5 A/100cm²·s；

（6）保持加速電壓-25 kV，額定電流90 A，頻率3 kHz，采用真空電弧離子源注入Al，時間120~360 s；待腔體冷卻后取出，即得改性摩擦氟硅橡膠。

2.如權利要求1所述C、Al雙元素注入制備低摩擦氟硅橡膠表面 的方法，其特征在于：氟硅橡膠的表面清洗，是將氟硅橡膠用細砂紙進行打磨，去除表面的污染物，獲得光滑樣品；再放置于30~50 ℃肥皂水中用小毛刷進一步清洗；然后放入加熱至60~85℃的去離子水中超聲清洗5~10 min，重復3~5次，去除表面殘余肥皂及污染物；清洗結束后放入烘箱，于60~85℃烘干。

3.如權利要求1所述C、Al雙元素注入制備低摩擦氟硅橡膠表面的方法，其特征在于：所述電弧電源采用脈沖弧電源。