[發(fā)明專利]一種新型寬幅等離子表面處理裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011361832.8 | 申請(qǐng)日： | 2020-11-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112291915A | 公開（公告）日： | 2021-01-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉善石 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 昆山索坤萊機(jī)電科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H05H1/24 | 分類號(hào)： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇州市*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 新型 寬幅 等離子 表面 處理 裝置 | ||
1.一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：包括封閉的箱體(1)和工作臺(tái)(2)，所述箱體(1)自上向下依次分為進(jìn)氣區(qū)(3)、電離區(qū)(4)和出氣區(qū)(5)，所述進(jìn)氣區(qū)(3)上設(shè)有工作氣體進(jìn)氣孔(6)，進(jìn)氣區(qū)(3)內(nèi)設(shè)置混氣腔(7)，所述電離區(qū)(4)中間設(shè)有電極(8)，電極(8)設(shè)置于箱體(1)中間的電極腔(9)內(nèi)，電極(8)的一端連接外部高壓電源裝置，所述電極(8)為一橫向放置的長(zhǎng)電極，其外部包覆一陶瓷絕緣件(10)，所述電極腔(9)和電極(8)之間設(shè)有供工作氣體流通的間隙，電極腔(9)上端設(shè)有進(jìn)氣通道(11)連接進(jìn)氣區(qū)的混氣腔(7)，電極腔(9)下端設(shè)有等離子通道連接出氣區(qū)(5)，所述出氣區(qū)(5)口設(shè)有與等離子通道連接的等離子出口(12)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：所述電極(8)由兩條橫截面呈半圓形的長(zhǎng)電極組合而成，兩條長(zhǎng)電極之間設(shè)有彈簧，彈簧兩端抵緊兩條長(zhǎng)電極，使得長(zhǎng)電極與陶瓷絕緣件(10)緊密配合，能保證電極和陶瓷的充分接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：所述每個(gè)長(zhǎng)電極上設(shè)有若干通氣孔(13)用于冷卻電極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：所述電極(8)中間呈中空設(shè)置，進(jìn)一步提高冷卻效果。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：所述箱體(1)的下部和工作臺(tái)(2)的下部設(shè)置長(zhǎng)條排氣孔，長(zhǎng)條排氣孔外接抽風(fēng)機(jī)。
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