[發(fā)明專利]一種芯片自動上下料機(jī)的多頭吸嘴機(jī)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011355046.7
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN112366171A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王榮;溫定進(jìn)
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州茂特斯自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州通途佳捷專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32367
• 代理人: 翁德億

本發(fā)明公開了一種芯片自動上下料機(jī)的多頭吸嘴機(jī)構(gòu)，包括通過安裝架連接的固定立板和移動立板，固定立板和移動立板的下部均設(shè)有吸嘴氣缸安裝板，且固定立板和移動立板上的吸嘴氣缸安裝板之間連接有吸嘴間距同步調(diào)整導(dǎo)軌，吸嘴氣缸安裝板上設(shè)有可升降吸嘴，固定立板上的吸嘴氣缸安裝板均通過X軸吸嘴間距同步調(diào)整機(jī)構(gòu)連接在一起，固定立板的背面設(shè)有用于調(diào)節(jié)吸嘴X軸間距的X軸驅(qū)動伺服電機(jī)、X軸驅(qū)動同步輪機(jī)構(gòu)和X軸滾珠絲桿；安裝架上設(shè)有用于調(diào)節(jié)吸嘴Y軸間距的Y軸驅(qū)動伺服電機(jī)、Y軸驅(qū)動同步輪機(jī)構(gòu)和Y軸間距調(diào)整滾珠絲桿。本發(fā)明的每組吸嘴的間距都可以實(shí)現(xiàn)按需調(diào)整，且都可以單獨(dú)上下升降和工作，兼容性好，穩(wěn)定性高，工作效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于芯片自動上下料設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種芯片自動上下料機(jī)的多頭吸嘴機(jī)構(gòu)，用于芯片搬運(yùn)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體行業(yè)中，為了加快生產(chǎn)速度，通常都會采用配備搬運(yùn)吸嘴機(jī)構(gòu)的芯片自動上下料機(jī)，用以將芯片快速有序地轉(zhuǎn)移，而其中的搬運(yùn)吸嘴機(jī)構(gòu)就是用來從治具中吸取芯片或?qū)⑿酒M裝入治具中，從而實(shí)現(xiàn)芯片后續(xù)的自動上下料。

現(xiàn)有的此類搬運(yùn)吸嘴機(jī)構(gòu)多為采用手動調(diào)節(jié)吸嘴間距的方式，也有少部分具備自動調(diào)節(jié)吸嘴間距的功能，但大部分的此類機(jī)構(gòu)均只設(shè)計(jì)有4組吸嘴，可提升生產(chǎn)效率的空間已經(jīng)幾乎被開發(fā)完全。

同時，現(xiàn)有的此類搬運(yùn)吸嘴機(jī)構(gòu)存在吸嘴間距調(diào)整精度低，取料、搬運(yùn)、放料過程中穩(wěn)定性低等缺陷，這也是設(shè)備整體效率不高的問題之一。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明提供了一種芯片自動上下料機(jī)的多頭吸嘴機(jī)構(gòu)，通過擴(kuò)大適用范圍及提升穩(wěn)定性，從而提高設(shè)備的生產(chǎn)效率。

為解決上述技術(shù)問題，實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種芯片自動上下料機(jī)的多頭吸嘴機(jī)構(gòu)，包括一塊固定立板，所述固定立板的正面上部設(shè)置有一個安裝架，所述安裝架的底部通過Y軸移動立板線性導(dǎo)軌設(shè)置有一塊移動立板，所述安裝架的頂部設(shè)置有Y軸驅(qū)動伺服電機(jī)，所述安裝架的底部設(shè)置有Y軸間距調(diào)整滾珠絲桿，所述Y軸驅(qū)動伺服電機(jī)與所述Y軸間距調(diào)整滾珠絲桿之間通過設(shè)置在所述固定立板背面的Y軸驅(qū)動同步輪機(jī)構(gòu)傳動連接，所述Y軸間距調(diào)整滾珠絲桿的滑塊與所述移動立板連接；

所述固定立板的正面下部通過對應(yīng)的X軸吸嘴間距調(diào)整導(dǎo)向線性導(dǎo)軌并排設(shè)置有若干塊吸嘴氣缸安裝板，所述移動立板的背面下部同樣通過對應(yīng)的X軸吸嘴間距調(diào)整導(dǎo)向線性導(dǎo)軌并排設(shè)置有若干塊吸嘴氣缸安裝板，位于所述固定立板的所述吸嘴氣缸安裝板與位于所述移動立板上的所述吸嘴氣缸安裝板的數(shù)量相同；每塊所述吸嘴氣缸安裝板的上部均設(shè)置有一個Z軸吸嘴升降氣缸，每塊所述吸嘴氣缸安裝板的下部均通過Z軸吸嘴升降導(dǎo)向線性導(dǎo)軌設(shè)置有一個豎直向下的吸嘴，每個所述吸嘴分別與其上方對應(yīng)的所述Z軸吸嘴升降氣缸的推塊固定連接，所述安裝架的頂部設(shè)置電磁閥，所述電磁閥分別與每個所述吸嘴電連接，所述吸嘴通過所述Z軸吸嘴升降氣缸的驅(qū)動及所述Z軸吸嘴升降導(dǎo)向線性導(dǎo)軌的配合實(shí)現(xiàn)在Z軸方向上的位置調(diào)節(jié)；

所述固定立板上的所有所述吸嘴氣缸安裝板均通過一個位于所述固定立板背面的X軸吸嘴間距同步調(diào)整機(jī)構(gòu)連接在一起，所述固定立板的背面設(shè)置有X軸驅(qū)動伺服電機(jī)和X軸滾珠絲桿，所述X軸驅(qū)動伺服電機(jī)與所述X軸滾珠絲桿之間通過X軸驅(qū)動同步輪機(jī)構(gòu)傳動連接，所述X軸滾珠絲桿上的滑塊與任意一個位于所述固定立板上的所述吸嘴氣缸安裝板連接，所述固定立板上的所述吸嘴通過所述X軸驅(qū)動伺服電機(jī)、所述X軸驅(qū)動同步輪機(jī)構(gòu)、所述X軸滾珠絲桿、所述X軸吸嘴間距同步調(diào)整機(jī)構(gòu)的帶動以及對應(yīng)的所述X軸吸嘴間距調(diào)整導(dǎo)向線性導(dǎo)軌的配合實(shí)現(xiàn)在X軸方向上的間距同步調(diào)節(jié)；