[發明專利]一種聲表面波濾波器及其制作方法、電子設備

在審

• 申請號: 202011353502.4
• 申請日: 2020-11-26
• 公開（公告）號: CN112532196A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 范佰杰;王曉珍;徐浩
• 申請（專利權）人: 北京航天微電科技有限公司
• 主分類號: H03H3/10
• 分類號: H03H3/10;H03H9/25;H03H9/64
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 徐琪琦

本發明涉及一種聲表面波濾波器及其制作方法、電子設備，每相鄰兩個結構單元之間連接一個所述電容換能器，由于電容換能器接地，使電容換能器起到了對地電容的作用，能有效提高聲表面波濾波器的矩形度，進而提高聲表面波濾波器的濾波性能，而且，通過將至少兩個結構單元進行串聯使用，能起到濾波性能線性疊加的技術效果即隨著結構單元的數量的增大，能呈線性的提高聲表面波濾波器的矩形度，即提高了聲表面波濾波器的頻率選擇性，以使本發明的一種聲表面波濾波器可廣泛應用于雷達、導航、移動通信等電子信息領域，適用性強。

技術領域

本發明涉及聲表面波濾波技術領域，尤其涉及一種聲表面波濾波器及其制作方法、電子設備。

背景技術

如圖1所示，聲表面波濾波器的基本結構是壓電基片上制作兩個聲電換能器即叉指換能器，分別用作發射叉指換能器和接收叉指換能器，其濾波原理為：發射叉指換能器的信號電極接收源信號并將其轉換為聲表面波，并在壓電基片的表面傳播，接收叉指換能器接收聲表面波后并將其轉換為電信號輸出，即聲表面波濾波器是利用壓電材料的壓電效應和逆壓電效完成電信號和聲表面波信號的相互轉化，并在聲信號的傳播過程中進行信號處理，從而實現濾波功能，其中，矩形度是衡量聲表面波濾波器的濾波性能的重要指標，目前，聲表面波濾波器尤其極窄帶聲表面波濾波器的矩形度都在3以上，嚴重影響了聲表面波濾波器尤其極窄帶聲表面波濾波器的濾波性能。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供了一種聲表面波濾波器及其制作方法、電子設備。

本發明的一種聲表面波濾波器的技術方案如下：

包括電容換能器和至少兩個結構單元；所述電容換能器和至少兩個所述結構單元均設置在所述壓電基片上；

所述結構單元包括聲表面波反射柵和叉指換能器，所述叉指換能器包括地電極、相對設置的輸入信號電極和輸出信號電極，還包括與所述輸入信號電極連接的第一部分的叉指換能器指條、與所述輸出信號電極連接的第二部分的叉指換能器指條，所述第一部分的叉指換能器指條和第二部分的叉指換能器指條對稱或交錯設置，且均插接在所述地電極內，所述聲表面波反射柵與所述地電極連接；

每相鄰兩個所述結構單元之間連接一個所述電容換能器，且每個所述電容換能器的一端連接所述輸入信號電極或所述輸出信號電極，另一端連接所述地電極。

本發明的一種聲表面波濾波器的有益效果如下：

每相鄰兩個結構單元之間連接一個所述電容換能器，由于電容換能器接地，使電容換能器起到了對地電容的作用，能有效提高聲表面波濾波器的矩形度，進而提高聲表面波濾波器的濾波性能，而且，通過將至少兩個結構單元進行串聯使用，能起到濾波性能線性疊加的技術效果即隨著結構單元的數量的增大，能呈線性的提高聲表面波濾波器的矩形度，即提高了聲表面波濾波器的頻率選擇性，以使本發明的一種聲表面波濾波器可廣泛應用于雷達、導航、移動通信等電子信息領域，適用性強。

在上述方案的基礎上，本發明的一種聲表面波濾波器還可以做如下改進。

進一步，所述電容換能器包括指條，且所述電容換能器的指條的延長方向所述第一部分的叉指換能器指條和所述第二部分的叉指換能器指條的延長方向垂直。

采用上述進一步方案的有益效果是：由于電容換能器的指條的延長方向與第一部分的叉指換能器指條和第二部分的叉指換能器指條的延長方向垂直，不具有對聲波進行傳輸和諧振的功能，減少對聲表面波的濾波的影響，進一步提高聲表面波濾波器的性能。

進一步，所述地電極包括多個地電極指條，所述第一部分的叉指換能器指條和第二部分的叉指換能器指條與多個所述地電極指條插接。

進一步，任意相鄰兩個地電極指條之間的狹縫的寬度與任意一個地電極指條的寬度之和為λ，λ表示待濾波的聲表面波的波長。

進一步，所述壓電基片的材質為石英。