[發(fā)明專(zhuān)利]DFM綜合評(píng)分方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011347795.5
• 申請(qǐng)日: 2020-11-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112487737A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程瑋;朱忠華;魏芳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G06F30/30
• 分類(lèi)號(hào): G06F30/30;G06F119/18
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 曹廷廷

1.一種DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，包括：

確定待測(cè)產(chǎn)品的工藝平臺(tái)；

對(duì)此工藝平臺(tái)的量產(chǎn)產(chǎn)品的各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的異常風(fēng)險(xiǎn)度進(jìn)行評(píng)分，并得到各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)，對(duì)此工藝平臺(tái)的量產(chǎn)產(chǎn)品的各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的異常發(fā)生度進(jìn)行評(píng)分，并得到各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)；

分析所述第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)、第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)和良率的相關(guān)性，以得到各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第一權(quán)重；

根據(jù)所述第一權(quán)重、第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)和第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)得到第一總分?jǐn)?shù)，分析所述第一總分?jǐn)?shù)和良率的相關(guān)性，根據(jù)良率要求制定出管控標(biāo)準(zhǔn)；

對(duì)所述待測(cè)產(chǎn)品的各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的異常風(fēng)險(xiǎn)度進(jìn)行評(píng)分，以求得所述待測(cè)產(chǎn)品的各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第二風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)，對(duì)所述待測(cè)產(chǎn)品的各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的異常發(fā)生度進(jìn)行評(píng)分，以求得所述待測(cè)產(chǎn)品的各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第二發(fā)生度分?jǐn)?shù)；

分析所述第二風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)、第二發(fā)生度分?jǐn)?shù)和良率的相關(guān)性，以得到各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第二權(quán)重；

根據(jù)所述第二權(quán)重、第二風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)和第二發(fā)生度分?jǐn)?shù)得到第二總分?jǐn)?shù)；

根據(jù)所述管控標(biāo)準(zhǔn)判斷所述第二總分?jǐn)?shù)是否達(dá)準(zhǔn)。

2.如權(quán)利要求1所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，所述各項(xiàng)檢查項(xiàng)目包括：版圖密度、版圖梯度和版圖線寬。

3.如權(quán)利要求2所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，對(duì)此工藝平臺(tái)的量產(chǎn)產(chǎn)品的各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的異常風(fēng)險(xiǎn)度進(jìn)行評(píng)分，并得到各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)，對(duì)此工藝平臺(tái)的量產(chǎn)產(chǎn)品的各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的異常發(fā)生度進(jìn)行評(píng)分，并得到各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)的方法包括：

對(duì)量產(chǎn)產(chǎn)品的版圖密度的異常風(fēng)險(xiǎn)度得到版圖密度的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)，對(duì)量產(chǎn)產(chǎn)品的版圖密度的異常發(fā)生度進(jìn)行評(píng)分得到版圖密度的第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)；

對(duì)量產(chǎn)產(chǎn)品的版圖梯度的異常風(fēng)險(xiǎn)度得到版圖密度的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)，對(duì)量產(chǎn)產(chǎn)品的版圖梯度的異常發(fā)生度進(jìn)行評(píng)分得到版圖密度的第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)；

對(duì)量產(chǎn)產(chǎn)品的版圖線寬的異常風(fēng)險(xiǎn)度得到版圖密度的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)，對(duì)量產(chǎn)產(chǎn)品的版圖線寬的異常發(fā)生度進(jìn)行評(píng)分得到版圖密度的第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)。

4.如權(quán)利要求2所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，分析所述第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)、第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)和良率的相關(guān)性，以得到各項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第一權(quán)重的方法包括：

計(jì)算版圖密度的的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)、第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)和良率的相關(guān)性，以得到版圖密度的第一權(quán)重；

計(jì)算版圖梯度的的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)、第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)和良率的相關(guān)性，以得到版圖梯度的第一權(quán)重；

計(jì)算版圖線寬的的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)、第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)和良率的相關(guān)性，以得到版圖線寬的第一權(quán)重。

5.如權(quán)利要求4所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，所述某一檢查項(xiàng)目的第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)和第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)與良率的相關(guān)性越大，這項(xiàng)檢查項(xiàng)目的第一權(quán)重越高。

6.如權(quán)利要求5所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，計(jì)算第一總分?jǐn)?shù)的方法包括：

S1＝W1*R1*O1；

其中：S1為第一總分?jǐn)?shù)、W1為第一權(quán)重、R1為第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)、O1為第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)。

7.如權(quán)利要求1所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，所述檢查項(xiàng)目的異常風(fēng)險(xiǎn)度越高，所述第一風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)或者所述第二風(fēng)險(xiǎn)度分?jǐn)?shù)越大。

8.如權(quán)利要求1所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，所述檢查項(xiàng)目的發(fā)生次數(shù)越少，所述異常發(fā)生度越小。

9.如權(quán)利要求8所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，所述異常發(fā)生度越小，所述第一發(fā)生度分?jǐn)?shù)或者第二發(fā)生度分?jǐn)?shù)越大。

10.如權(quán)利要求1所述的DFM綜合評(píng)分方法，其特征在于，所述量產(chǎn)產(chǎn)品為已經(jīng)測(cè)試好的良率產(chǎn)品。