[發明專利]絕對型容柵傳感器測量系統在審
| 申請號: | 202011345474.1 | 申請日: | 2020-11-26 |
| 公開(公告)號: | CN112254748A | 公開(公告)日: | 2021-01-22 |
| 發明(設計)人: | 楊瑛 | 申請(專利權)人: | 桂林市錦鵬電子有限公司 |
| 主分類號: | G01D5/241 | 分類號: | G01D5/241;G01B7/02 |
| 代理公司: | 桂林市華杰專利商標事務所有限責任公司 45112 | 代理人: | 覃永峰 |
| 地址: | 541001 廣西壯族自治區*** | 國省代碼: | 廣西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 絕對 型容柵 傳感器 測量 系統 | ||
1.絕對型容柵傳感器測量系統,其特征在于,包括測量信號處理單元和與測量信號處理單元連接的絕對型容柵傳感器單元以及數據處理單元,所述測量信號處理單元設有并聯可選的第一容柵IC1和第二容柵IC2,所述絕對型容柵傳感器單元包含第一增量型容柵傳感器組和第二增量型容柵傳感器組,其中每組增量型容柵傳感器的組成結構均與常規增量型容柵傳感器一致、均沿測量軸線同步移動,在單節距內均具有數據唯一性的特性,并且兩組增量型容柵傳感器的節距接近,在絕對型容柵傳感器的有效量程內兩組增量型容柵傳感器經過的節距數之差≤1。
2.根據權利要求1所述的絕對型容柵傳感器測量系統,其特征在于,所述第一容柵IC1和第二容柵IC2均為容柵專用IC。
3.根據權利要求1所述的絕對型容柵傳感器測量系統,其特征在于,所述絕對型容柵傳感器單元用于絕對直線位移測量時絕對型容柵傳感器單元由兩組增量型直線位移容柵傳感器組成、用于絕對角度位移測量時絕對型容柵傳感器單元由兩組增量型圓容柵傳感器組成。
4.根據權利要求1所述的絕對型容柵傳感器測量系統,其特征在于,所述第一增量型容柵傳感器組和第二增量型容柵傳感器組為相互獨立的兩組傳感器,兩組傳感器以并聯或串聯的方式設置在測量軸線上。
5.根據權利要求1所述的絕對型容柵傳感器測量系統,其特征在于,所述第一增量型容柵傳感器組和第二增量型容柵傳感器組合并為一組絕對型容柵傳感器,兩組增量型容柵傳感器的各電極,按原增量型容柵傳感器的排列方法,以反射式二片式結構或透射式三片式結構并列設置在絕對型容柵傳感器中。
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