[發明專利]一種能夠降低光程差的偏振分光棱鏡

有效

• 申請號: 202011341828.5
• 申請日: 2020-11-25
• 公開（公告）號: CN112394531B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 馬敬;盧增雄;齊月靜;李璟;蘇佳妮;胡丹怡
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28;G02B7/18
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王江選

1.一種能夠降低光程差的偏振分光棱鏡，包括：

第一直角棱鏡，包括第一直角棱鏡主體，以及形成于所述第一直角棱鏡主體表面的第一直角面、第二直角面、第一偏振分光面，所述第一偏振分光面表面鍍有偏振分光膜，所述第一直角面上覆有第一膠合四分之一波片，所述第一膠合四分之一波片的上表面鍍有第一高反膜；

第二直角棱鏡，包括第二直角棱鏡主體，以及形成于所述第二直角棱鏡主體表面的第三直角面、第四直角面、第二偏振分光面，所述第二偏振分光面表面鍍有偏振分光膜，所述第四直角面上覆有第二膠合四分之一波片，所述第二膠合四分之一波片的上表面鍍有第二高反膜；以及

膠合層，設置于相對設置的所述第一偏振分光面和所述第二偏振分光面之間；

當入射偏振光從第二直角棱鏡的第三直角面入射時，入射偏振光的偏振方向與第一偏振分光面或第二偏振分光面的P偏振方向成45°角，則所述入射偏振光經第二偏振分光面分為透射部分的第一偏振光和反射部分的第二偏振光，所述第一偏振光和所述第二偏振光分別入射第一直角棱鏡和第二直角棱鏡；第一偏振光在第一直角棱鏡和膠合層之間傳播生成第五偏振光的光路和所述第二偏振光在第二直角棱鏡和膠合層之間傳播生成第六偏振光的光路之間的光程差為倍的膠合層厚度。

2.根據權利要求1所述的偏振分光棱鏡，其中，所述第一偏振光穿過膠合層，經第一直角棱鏡主體后由第一直角面進入第一膠合四分之一波片，經第一高反膜反射后，依次經過第一膠合四分之一波片和第一直角棱鏡主體，得到第三偏振光；第三偏振光再入射到第一偏振分光面，經第一偏振分光面的偏振分光膜反射后經第一直角棱鏡主體射入第二直角面，得到第五偏振光。

3.根據權利要求2所述的偏振分光棱鏡，其中，所述第二偏振光經第二直角棱鏡主體后由第四直角面進入第二膠合四分之一波片，經第二高反膜反射后，依次經過第二膠合四分之一波片和第二直角棱鏡主體，得到第四偏振光，第四偏振光再入射到膠合層，后經第一偏振分光面的偏振分光膜透射后射入第二直角面，得到第六偏振光。

4.根據權利要求3所述的偏振分光棱鏡，所述第五偏振光與第六偏振光同軸出射，合成第七偏振光。