[發明專利]轉移裝置、系統及方法

有效

• 申請號: 202011337654.5
• 申請日: 2020-11-25
• 公開（公告）號: CN112967991B
• 公開（公告）日: 2022-10-21
• 發明（設計）人: 汪慶;范春林;王斌
• 申請（專利權）人: 重慶康佳光電技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L33/48
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281
• 代理人: 李發兵

1.一種轉移裝置，其特征在于，包括：

固定軸和多個轉移單元，各所述轉移單元沿所述固定軸的延伸方向依次套設于所述固定軸上；

各所述轉移單元被配置為粘附預定數量的微器件，且能相對所述固定軸進行獨立轉動。

2.如權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，所述轉移單元包括：傳動組件、支撐件和轉移本體；所述轉移本體通過所述支撐件與所述傳動組件連接；

所述傳動組件被配置為在外部電流的作用下帶動所述轉移本體相對所述固定軸轉動。

3.如權利要求2所述的轉移裝置，其特征在于，所述傳動組件包括套設在所述固定軸上的旋轉部件和固定部件；所述旋轉部件通過由所述固定部件引起的磁場變化而進行轉動。

4.如權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，所述微器件包括微發光二極管、迷你發光二極管、有機電致發光二極管中的任意一種。

5.如權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，所述轉移單元沿所述固定軸的周向被等間距劃分為至少三個子部，且各子部用以粘附輻射不同波長光線的微器件。

6.如權利要求4所述的轉移裝置，其特征在于，所述微發光二極管包括紅色微發光二極管、綠色微發光二極管和藍色微發光二極管。

7.如權利要求6所述的轉移裝置，其特征在于，所述轉移單元沿所述固定軸的周向被等間距劃分為四個子部；

其中，三個子部分別用以粘附紅色微發光二極管、綠色微發光二極管和藍色微發光二極管，余下一個子部用以粘附紅色微發光二極管或綠色微發光二極管或藍色微發光二極管。

8.一種轉移系統，其特征在于，包括轉移裝置和調節裝置；

其中，所述轉移裝置與所述調節裝置連接，所述調節裝置用以控制所述轉移裝置在三維方向上進行移動；

所述轉移裝置為如權利要求1-7任一項所述的轉移裝置。

9.一種轉移方法，其特征在于，基于一種轉移裝置，所述轉移裝置包括固定軸和多個轉移單元；所述轉移方法包括：

提供第一基板、第二基板及第三基板；其中，各基板上均生長有若干個微器件，且不同基板上生長的微器件所輻射之光線的波長不同；

控制所述轉移裝置分別對所述第一基板、第二基板及第三基板上的所述微器件進行粘附；

粘附完成后，調整所述轉移裝置中各轉移單元相對所述固定軸的角度以實現預期的微器件組合；

控制所述轉移裝置將調整完成后的微器件轉移至一目標基板。

10.如權利要求9所述的轉移方法，其特征在于，所述轉移單元沿所述固定軸的周向被等間距劃分為三個子部，三個子部分別定義為第一子部、第二子部和第三子部；所述對所述微器件進行粘附的步驟，包括：

將所述轉移裝置移至所述第一基板上方；

調整所述轉移裝置的姿態，以使各所述轉移單元的第一子部朝向所述第一基板并粘附所述第一基板上的微器件；

將所述轉移裝置移至所述第二基板上方；

調整所述轉移裝置的姿態，以使各所述轉移單元的第二子部朝向所述第二基板并粘附所述第二基板上的微器件；

將所述轉移裝置移至所述第三基板上方；

調整所述轉移裝置的姿態，以使各所述轉移單元的第三子部朝向所述第三基板并粘附所述第三基板上的微器件。

11.如權利要求10所述的轉移方法，其特征在于，所述調整所述轉移裝置中各轉移單元相對所述固定軸的角度的步驟，包括：

為各轉移單元中傳動組件配置對應的外部電流，以使各轉移單元相對所述固定軸的角度為120°×M，所述M為自然數。