[發明專利]一種高精度平面研磨機

在審

• 申請號: 202011337036.0
• 申請日: 2020-11-25
• 公開（公告）號: CN112318361A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 胡秋;楊帆;李夢陽;張日升;趙鵬寧;易忠全;袁南南;薛寶珠;王佳昌;郭英杰
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 朱彬

1.一種高精度平面研磨機，包括機體(1)，所述機體(1)上設有主軸組件(2)、Z軸組件(3)、回轉工作臺(4)，所述主軸組件(2)由Z軸組件(3)驅動豎向移動，所述主軸組件(2)下方連接有研具盤(5)，其特征在于，所述機體(1)上還設有X軸組件(6)，所述X軸組件(6)用于驅動回轉工作臺(4)橫向移動。

2.根據權利要求1所述的高精度平面研磨機，其特征在于，所述X軸組件(6)采用高精度導軌支撐。

3.根據權利要求2所述的高精度平面研磨機，其特征在于，所述高精度導軌為氣體靜壓導軌、液體靜壓導軌、線性導軌中的一種。

4.根據權利要求1所述的高精度平面研磨機，其特征在于，所述回轉工作臺(4)采用高精度軸承支撐。

5.根據權利要求4所述的高精度平面研磨機，其特征在于，所述高精度軸承為氣體靜壓支撐、液體靜壓支撐、密珠滑套中的一種。

6.根據權利要求1所述的高精度平面研磨機，其特征在于，所述回轉工作臺(4)采用力矩電機驅動，所述力矩電機電連接有旋轉編碼器。

7.根據權利要求1所述的高精度平面研磨機，其特征在于，所述研具盤(5)通過連接部(7)與主軸組件(2)浮動連接。

8.根據權利要求7所述的高精度平面研磨機，其特征在于，所述連接部(7)與主軸組件(2)固定連接，所述連接部(7)或研具盤(5)上設有供連接銷穿過的長條孔，所述長條孔豎向設置，以通過連接銷和長條孔的配合實現連接部(7)的浮動連接。

9.根據權利要求7所述的高精度平面研磨機，其特征在于，所述連接部(7)和研具盤(5)通過齒形傳動。