[發(fā)明專利]一種可降低Tape Bonding工藝過程中抖動的機構

有效

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• 申請日: 2020-11-25
• 公開（公告）號: CN112437555B
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發(fā)明（設計）人: 趙原;劉明群
• 申請（專利權）人: 江蘇匯成光電有限公司
• 主分類號: H05K3/32
• 分類號: H05K3/32;H05K7/20;F16F15/08
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 張紅艷

本發(fā)明公開一種可降低Tape Bonding工藝過程中抖動的機構，將所有的冷卻進氣孔向下傾斜15°，從而就可以避免冷卻風對芯片的影響，減少芯片抖動，通過旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)展開，就可以帶動伸縮桿在滑套內(nèi)部進行滑動工作，從而就可以避免緩沖阻隔膜發(fā)生凸起的現(xiàn)象，同時通過旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)展開，就可以對緩沖阻隔膜進行拉伸工作，從而使得斜開口張開，并且通過張開的斜開口，就使得冷氣可以對支撐柱上側外壁進行冷卻工作，這樣不僅對支撐柱表面起到降溫的作用，而且還減少了冷氣對芯片底面的沖擊力，降低了芯片抖動,提升了引腳接合的精度，由于緩沖阻隔膜具有緩沖阻隔性，所以就可以減緩冷氣的沖力，使得冷氣更加柔和，可以對芯片底面進行冷卻，防止芯片受熱膨脹。

技術領域

本發(fā)明屬于COF封裝相關技術領域，具體涉及一種可降低Tape Bonding工藝過程中抖動的機構。

背景技術

卷帶式薄膜覆晶封裝(chiponfilm，簡稱cof))，覆晶封裝技術是采用柔性線路基板作為封裝芯片的載體，即采用柔性線路基板作為上述線路基板，之后通過熱壓合技術，將芯片上的凸塊與柔性線路基板的內(nèi)引腳接合。

現(xiàn)有的COF封裝技術存在以下問題：現(xiàn)有COF封裝領域，內(nèi)引腳接合制程之中，集成電路器與芯片接合過程中需要支撐座支撐。該制程中芯片受溫度影響較大，正常芯片引腳之間間隙25um，芯片脹縮比在1.0006左右；因此支撐溫度不穩(wěn)定極易導致集成電路器與芯片接合過程中產(chǎn)生偏移，為了避免發(fā)生偏移的現(xiàn)象，就會在支撐座兩測卡設有排風冷卻孔，從而起到穩(wěn)定支撐座表面溫度作用，但是排風孔會導致吸附的芯片產(chǎn)生較大抖動，影響結合的精度。

實用新型內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種可降低Tape Bonding工藝過程中抖動的機構，以解決上述背景技術中提出的排風孔會導致吸附的芯片產(chǎn)生較大抖動，影響結合的精度問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術方案：一種可降低Tape Bonding工藝過程中抖動的機構，包括連接座，所述連接座底端內(nèi)壁固定連接有多個底座，每個所述底座上端固定連接有支撐柱，自底座的下端面延伸至支撐柱的內(nèi)部開設有冷卻進氣孔，每個所述支撐柱表面均貫穿開設有多個冷卻排氣孔，且冷卻排氣孔與冷卻進氣孔連通，每個所述支撐柱左右側面均固定連接有兩個支撐塊，且支撐塊位于冷卻排氣孔上側，在支撐柱同一側的兩個支撐塊的之間轉(zhuǎn)動連接有旋轉(zhuǎn)緩沖隔膜，且旋轉(zhuǎn)緩沖隔膜位于兩個支撐柱中間，所述支撐柱上端通過負壓吸附連接有芯片，所述連接座上端右側固定連接有進氣口，進氣口與冷卻進氣孔連通。

優(yōu)選的，所述連接座內(nèi)部開設有分叉式氣道，且分叉式氣道中的主氣道與兩個進氣口連通，同時分叉式氣道中的分支氣道與冷卻進氣孔連通，所述連接座內(nèi)、外兩壁涂有絕緣耐氧化漆層結構。

優(yōu)選的，所述底座和支撐柱組成倒T字形支撐座，支撐柱上端呈矩陣分布開設有多個負壓吸附孔，支撐柱左端上側開設有負壓連接孔，且負壓連接孔與負壓吸附孔連通，同時負壓連接孔通過氣管與負壓泵的輸出端連通。

優(yōu)選的，所述冷卻進氣孔和冷卻排氣孔組成冷卻氣道，冷卻排氣孔的兩端開口處軸線均向下傾斜15°，所述冷卻進氣孔和冷卻排氣孔內(nèi)壁均涂有防氧化漆層結構。

優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)緩沖隔膜包括旋轉(zhuǎn)軸、滑套、伸縮桿、旋轉(zhuǎn)板、斜開口和緩沖阻隔膜，所述緩沖阻隔膜左右兩側均開設有多個斜開口，所述緩沖阻隔膜前后兩端均固定連接有滑套，在所述滑套內(nèi)部貫穿滑動連接有伸縮桿，所述緩沖阻隔膜左右兩端固定連接有旋轉(zhuǎn)板，且伸縮桿的兩端轉(zhuǎn)動連接在兩個旋轉(zhuǎn)板上，兩個所述旋轉(zhuǎn)板前后兩端固定連接有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)板通過旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接在支撐塊上。

優(yōu)選的，所述緩沖阻隔膜為硅膠膜材質(zhì)，所述旋轉(zhuǎn)板外壁涂有防氧化漆層結構，所述斜開口在緩沖阻隔膜拉伸時張開，在緩沖阻隔膜收縮時閉合，所述斜開口的朝向均斜對著支撐柱上側外壁。

優(yōu)選的，所述支撐塊以支撐柱的中心線為對稱中心線，所述支撐塊外壁涂有防氧化漆層結構。