[發明專利]用于集成電路三棱柱網格剖分的混合階有限元方法及裝置

有效

• 申請號: 202011334620.0
• 申請日: 2020-11-24
• 公開（公告）號: CN112131774B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 唐章宏;鄒軍;王芬;黃承清;汲亞飛
• 申請（專利權）人: 北京智芯仿真科技有限公司
• 主分類號: G06F30/23
• 分類號: G06F30/23;G06T17/20
• 代理公司: 深圳市行一知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 44453
• 代理人: 楊賢

1.一種用于集成電路三棱柱網格剖分的混合階有限元方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1，收集并設置所有層的集成電路版圖多邊形的層信息，將所有層的所述多邊形投影到同一層并進行初始網格剖分；簡化與對齊所述集成電路版圖多邊形，從xy平面方向對所述集成電路版圖多邊形進行三角形網格剖分和自適應細分；

步驟2，將三角形網格在厚度方向擴展為三棱柱網格，從z方向對三棱柱網格進行自適應細分；

步驟3，采用一致剖分規則實現所述三棱柱網格到四面體網格的網格剖分，基于所述四面體網格求解三維超大規模集成電路電磁場的初始值，根據所述電磁場的初始值變化速度超過和不超過預設值的所述四面體網格以及所述集成電路版圖小尺度區域的所述四面體網格，建立混合階單元，實現混合階有限元技術，使得所述集成電路版圖的電磁響應計算精度得到提高；

所述步驟1包括：采用邊交換法恢復所有所述多邊形的邊，在不同層的所述多邊形的邊的交點插入新的網格節點；

所述收集并設置所有層的集成電路版圖多邊形的層信息，將所有層的所述多邊形投影到同一層并進行初始網格剖分；以及，所述采用邊交換法恢復所有所述多邊形的邊，在不同層的所述多邊形的邊的交點插入新的網格節點；包括：

步驟1.1，獲取多層所述集成電路版圖包含多個頂點的多個所述多邊形，增加兩個能覆蓋所有層的所述集成電路版圖多邊形的矩形多邊形，分別作為頂層空氣層和底層空氣層的所述多邊形；

步驟1.2，設置各層所述多邊形的層信息，并用二進制數字代表各自的層；

步驟1.3，將各層的多個所述多邊形垂直投影到同一層，根據Delaunay三角剖分算法形成以多邊形頂點為網格節點的Delaunay三角形網格，其中，所述多邊形的各個邊包含預先設定的所在多邊形的所述多邊形信息和所在層的層信息；

步驟1.4，合并投影后重合的多個所述多邊形的邊的所述多邊形信息和所述多邊形的層信息；

步驟1.5，根據所述邊交換法將所述Delaunay三角形網格對齊到多個所述多邊形的各個邊，同時計算多個不同層的所述多邊形的邊的交點并將所述交點新增為所述多邊形的頂點和所述Delaunay三角形網格的節點，形成第一三角形網格；

在所述步驟1中，所述簡化與對齊所述集成電路版圖多邊形，包括：

對投影到同一層的所述多邊形的邊進行簡化與對齊，并對簡化與對齊后的所述多邊形及整個集成電路版圖區域進行三角形網格剖分；

所述對投影到同一層的所述多邊形的邊進行簡化與對齊，并對簡化與對齊后的所述多邊形及整個集成電路版圖區域進行三角形網格剖分；以及，所述從xy平面方向對所述集成電路版圖多邊形進行三角形網格剖分和自適應細分；包括：

步驟1.6，基于所述第一三角形網格，在每個所述多邊形的內外分別形成夾住所述多邊形的內外輔助多邊形，并通過設定的距離閾值控制所述內外輔助多邊形與所述多邊形的距離；

步驟1.7，對落在所述內外輔助多邊形之間的各層所述多邊形的邊進行對齊和簡化處理，并根據各個所述多邊形的邊所包含的多邊形編號信息將投影到同一層的多層所述多邊形還原到各層中，同時更新所述三角形網格及其層信息，形成第二三角形網格；

步驟1.8，基于網格尺寸和網格單元質量控制對所述第二三角形網格進行自適應網格細分，形成更新的所述第二三角形網格。