[發明專利]具有鎢電極的體聲波諧振器、濾波器及電子設備

在審

• 申請號: 202011332928.1
• 申請日: 2020-11-24
• 公開（公告）號: CN114553178A
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 龐慰;張孟倫;寧遠
• 申請（專利權）人: 諾思（天津）微系統有限責任公司
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17;H03H9/02
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 湯雄軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

基底；

聲學鏡；

底電極；

頂電極；和

壓電層，設置在底電極與頂電極之間，

其中：

所述壓電層為摻雜壓電層；且

所述頂電極和/或底電極為含有金屬鎢的鎢電極。

2.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述頂電極和/或底電極為由金屬鎢制成的單層電極或者由鎢合金制成的單層電極。

3.根據權利要求2所述的諧振器，其中：

所述頂電極和底電極均為鎢電極；且

頂電極或底電極的單層厚度與摻雜壓電層的厚度的比值在0.1-1的范圍內。

4.根據權利要求2所述的諧振器，其中：

所述頂電極和底電極均為鎢電極；

所述底電極的非電極連接端在水平方向上均處于聲學鏡的邊界的外側而與基底形成熱接觸。

5.根據權利要求2所述的諧振器，其中：

所述頂電極和底電極中的一個鎢電極，另一個為非鎢電極，鎢電極的厚度不同于非鎢電極的厚度；或者

所述頂電極和底電極中的一個鎢電極，另一個為非鎢電極，鎢電極的厚度等于非鎢電極的厚度。

6.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述頂電極和/或底電極為疊層電極，所述疊層電極包括疊置的不同材質的至少兩層電極層，所述至少兩層電極層至少包括一層鎢電極層，所述鎢電極層為由金屬鎢制成的電極層或者由鎢合金制成的電極層。

7.根據權利要求6所述的諧振器，其中：

所述疊層電極的鄰近壓電層的電極層為第一電極層，所述第一電極層為鎢電極層。

8.根據權利要求7所述的諧振器，其中：

所述頂電極和底電極均為疊層電極。

9.根據權利要求8所述的諧振器，其中：

所述底電極的非電極連接端在水平方向上均處于聲學鏡的邊界的外側而與基底形成熱接觸。

10.根據權利要求7所述的諧振器，其中：

所述頂電極和底電極中的一個疊層電極，另一個為非疊層電極。

11.根據權利要求1-10中任一項所述的諧振器，其中：

所述壓電層為摻鈧氮化鋁。

12.根據權利要求1-10中任一項所述的諧振器，其中：

所述諧振器還包括沿有效區域設置的凸起結構，所述凸起結構的材料為鎢。

13.一種濾波器，包括根據權利要求1-12中任一項所述的體聲波諧振器。

14.一種電子設備，包括根據權利要求13所述的濾波器或者根據權利要求1-12中任一項所述的諧振器。