[發明專利]一種氣體濃度測量用取樣裝置

在審

• 申請號: 202011327907.0
• 申請日: 2020-11-24
• 公開（公告）號: CN112525623A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 錢建平
• 申請（專利權）人: 合肥海川石化設備有限公司
• 主分類號: G01N1/24
• 分類號: G01N1/24;G01N30/02;G01N30/16
• 代理公司: 北京華仁聯合知識產權代理有限公司 11588
• 代理人: 甘春燕

本發明公開了一種氣體濃度測量用取樣裝置，包括壓力容器、氮氣瓶、氫氣瓶、氫氣測量系統、色譜儀和去離子水箱，所述壓力容器一側與氮氣瓶連通，所述壓力容器一側還與氫氣瓶連通；所述壓力容器內部設置有四個取樣探頭，所述取樣探頭包括取樣管、接頭、取樣頭和防噴淋罩，所述防噴淋罩套接在取樣管表面，所述取樣管底端與接頭頂端固定連接。本發明通過氫氣測量系統檢測出取樣氣體中的氫氣的濃度參數，同時通過色譜儀檢測出取樣氣體中的氫氣濃度，根據氫氣測量系統和色譜儀中四對氫氣濃度對比結果，從而得出取樣裝置的精度。

技術領域

本發明屬于氣體濃度測量技術領域，特別涉及一種氣體濃度測量用取樣裝置。

背景技術

隨著電子技術的發展，對電子器件的封裝過程要求越來越嚴格，當封裝過程中存在“氫效應”時，會改變器件的使用性能，導致器件不正常的工作，使器件失效，最終大大縮短器件的使用壽命。為了能解決器件的氫效應問題，需要對器件的抗“氫中毒”能力進行快速評價。

目前，主要通過設置氣體濃度檢測傳感器進行氣體濃度檢測，因高溫高壓環境，容易使氣體濃度檢測傳感器造成損壞，而且當氣體濃度檢測傳感器得多次檢測結果對比誤差較小時，難以判斷是氣體濃度本身發生了變化還是氣體濃度檢測傳感器出現了故障，無法獲得準確的氣體濃度檢測結果。

因此，發明一種氣體濃度測量用取樣裝置來解決上述問題很有必要。

發明內容

針對上述問題，本發明提供了一種氣體濃度測量用取樣裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種氣體濃度測量用取樣裝置，包括壓力容器、氮氣瓶、氫氣瓶、氫氣測量系統、色譜儀和去離子水箱，所述壓力容器一側通過設置有電磁閥V003和減壓閥V002的管道與氮氣瓶連通，所述壓力容器一側還設置有電磁閥V005和減壓閥V004的管道與氫氣瓶連通；

所述壓力容器內部設置有四個取樣探頭，所述取樣探頭包括取樣管、接頭、取樣頭和防噴淋罩，所述防噴淋罩套接在取樣管表面，所述取樣管底端與接頭頂端固定連接，所述接頭底部與取樣頭頂部固定連接；

四個所述取樣管頂端分別與四個取樣管線一端固定連接，所述取樣管線另一端貫穿所述壓力容器，且與氫氣測量系統輸入端連通，所述氫氣測量系統輸出端與壓力容器連通，所述取樣管線另一端還與色譜儀連通；

所述去離子水箱輸出端通過電磁閥V006、真空泵P003和電磁閥V007的管道與壓力容器底端連通，所述真空泵P003位于電磁閥V006和電磁閥V007之間；

所述壓力容器一側還通過電磁閥V013與氣溶膠發生器連通。

進一步的，四個所述取樣管線分別通過電磁閥V014A的管路、電磁閥V014B的管路、電磁閥V014C的管路和電磁閥V014D的管路與氫氣測量系統連通；

四個所述取樣管線還分別通過電磁閥V015A的管路、電磁閥V015B的管路、電磁閥V015C的管路和電磁閥V015D的管路與色譜儀連通。

進一步的，所述電磁閥V014A的管路、電磁閥V014B的管路、電磁閥V014C的管路、電磁閥V014D的管路、電磁閥V015A的管路、電磁閥V015B的管路、電磁閥V015C的管路和電磁閥V015D的管路表面均包裹有保溫層；

四個所述取樣管線的分別與設置有熱電偶TF301A和壓力變送器PT301A的管路、熱電偶TF301B和壓力變送器PT301B的管路、熱電偶TF301C和壓力變送器PT301C的管路以及熱電偶TF301D和壓力變送器PT301D的管路連接；