[發明專利]一種EIGZO靶材的制備方法

在審

• 申請號: 202011326595.1
• 申請日: 2020-11-23
• 公開（公告）號: CN112390622A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 劉文杰;鐘小華;童培云;朱劉
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: C04B35/01
• 分類號: C04B35/01;C04B35/622;C04B35/63;C23C14/08;C23C14/35
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種EIGZO靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括以下步驟：

(1)將氧化銦粉末、氧化鎵粉末、氧化鉺粉末、氧化鋅粉末、分散劑和水混合，球磨，得到第一混合漿料；

(2)在所述第一混合漿料中加入粘結劑，混勻，得到第二混合漿料；

(3)將所述第二混合漿料進行噴霧干燥，得到EIGZO粉粒；

(4)將所述EIGZO粉粒置于模具中進行壓制，得到素坯，再將素坯進行冷等靜壓；

(5)將經冷等靜壓處理后的素坯以0.1～0.5℃/min的速率升溫至150～400℃進行脫脂燒結；

(6)繼續以0.1～0.5℃/min的速率升溫至500～1300℃進行燒結；

(7)通入氧氣，并繼續以0.1～0.5℃/min的速率升溫至1300～1580℃進行燒結，冷卻，即得所述EIGZO靶材。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，以所述氧化銦粉末、氧化鎵粉末、氧化鉺粉末和氧化鋅粉末的總重量為基準進行計算，所述氧化銦粉末、氧化鎵粉末、氧化鉺粉末、氧化鋅粉末的質量比為氧化銦：氧化鎵：氧化鉺：氧化鋅＝60～65％:15～20％:3～5％:15～17％。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(6)和步驟(7)中的燒結都為分階段燒結。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(6)中的燒結分為4個階段，相鄰兩階段燒結溫度相差50～300℃，每階段保溫時間為1～4h。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(6)中，第一階段和第二階段的燒結溫度為600～900℃，第三階段的燒結溫度為1050～1150℃，第四階段的燒結溫度為1250～1300℃。

6.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(7)中的燒結分為4個階段，相鄰兩階段燒結溫度相差50～150℃，每階段保溫時間為2～8h。

7.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(7)中，第一至第三階段的燒結溫度為1300～1520℃，第四階段的燒結溫度為1550～1580℃。

8.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(7)中，氧氣流量為50～100L/min。

9.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述經冷等靜壓處理后的素坯的相對密度為50～60％。

10.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(4)中，冷等靜壓的壓力為300～400MPa；所述步驟(3)中，噴霧干燥的溫度為240-260℃，進料速度600-1000mL/min，EIGZO粉粒粒度小于200微米；所述步驟(2)中，粘結劑的重量為第一混合漿料重量的2～3％，第二混合漿料的pH值為9～10；所述步驟(1)中，分散劑的重量為所述氧化銦粉末、氧化鎵粉末、氧化鉺粉末和氧化鋅粉末的總重量的1-2％，球磨時間為3～10h，第一混合漿料的固含量為60～70％。