[發明專利]一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法

在審

• 申請號: 202011324248.5
• 申請日: 2020-11-23
• 公開（公告）號: CN112485280A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 朱彬;盧雅琳;陳逸;程亮;張云龍
• 申請（專利權）人: 江蘇理工學院;江蘇省中以產業技術研究院
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202;G01N23/2251;G01B15/06
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 張紅艷

1.一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)表面預處理：研磨金屬試樣待測面，采用SiO₂拋光液進行拋光；

(2)噴濺：對步驟(1)拋光后的金屬試樣進行超聲波清洗、吹干，在待測面噴濺金屬涂層；

(3)熱處理：將步驟(2)噴濺金屬涂層的金屬試樣放置在蒸氣環境中，加熱處理，使金屬涂層轉化為金屬顆粒；

(4)重復步驟(2)和步驟(3)，交替進行噴濺金屬涂層和蒸氣熱處理，即在金屬試樣表面獲得納米金屬顆粒散斑。

2.根據權利要求1所述的一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法，其特征在于，步驟(1)中所述研磨處理的過程為：使用型號為240#、600#、800#、2000#的砂紙依次對金屬試樣待檢測面進行研磨。

3.根據權利要求1所述的一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法，其特征在于，所述SiO₂拋光液的粒度為10-100nm，SiO₂拋光液中SiO₂懸浮液與去離子水的體積比為(10-50)：100。

4.根據權利要求1所述的一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法，其特征在于，所述拋光為采用自動拋光機進行，采用羊絨拋光布，拋光盤轉速為100-600轉/分鐘，拋光時間為10-60分鐘。

5.根據權利要求1所述的一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法，其特征在于，步驟(2)噴濺金屬涂層采用離子濺射儀，選用金靶材或銦靶材，在金屬試樣表面噴濺金屬涂層；所述金屬涂層的厚度為10-100nm。

6.根據權利要求1所述的一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法，其特征在于，步驟(3)中所述蒸氣環境為水蒸氣，加熱溫度為200-300℃，蒸氣加熱的時間為10-60分鐘。

7.根據權利要求1所述的一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法，其特征在于，步驟(4)中所述噴濺金屬涂層的厚度為30-100nm；所述蒸氣熱處理的溫度為200-300℃，蒸氣熱處理的時間為20-120分鐘。

8.根據權利要求1所述的一種用于金屬材料高分辨率局域應變分析的散斑制備方法，其特征在于，步驟(4)中所述重復步驟(2)和步驟(3)進行交替進行噴濺金屬涂層和蒸氣熱處理的重復次數為1-3次。