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[發明專利]一種Al摻雜的ZnO納米棒及其制備方法和應用在審

專利信息
申請號: 202011323588.6 申請日: 2020-11-23
公開(公告)號: CN112408462A 公開(公告)日: 2021-02-26
發明(設計)人: 于琦;蔣劍超;容萍;姜立運 申請(專利權)人: 陜西理工大學
主分類號: C01G9/03 分類號: C01G9/03;H01L29/227;H01L29/861;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200 代理人: 安彥彥
地址: 710046 *** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 al 摻雜 zno 納米 及其 制備 方法 應用
【權利要求書】:

1.一種Al摻雜的ZnO納米棒,其特征在于,其結構為所述ZnO納米棒生長在PET-ITO柔性襯底上,ZnO納米棒的表面附著有分散的Al原子。

2.一種Al摻雜的ZnO納米棒的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟1,預處理PET-ITO柔性襯底;

步驟2,通過磁控濺射在PET-ITO柔性襯底上沉積ZnO種子層;

步驟3,將六次甲基四胺,六水硝酸鋅和氧化鋁加入至去離子水中,制得前驅體溶液;

步驟4,將ZnO種子層放置在前驅體溶液中,水熱反應后將產物干燥,在PET-ITO柔性襯底上制得Al摻雜的ZnO納米棒。

3.根據權利要求2所述的一種Al摻雜的ZnO納米棒的制備方法,其特征在于,步驟1中,所述預處理PET-ITO柔性襯底的步驟為,將PET-ITO柔性襯底裁剪成方形后,通過丙酮和乙醇依次超聲清洗,取出后在去離子水中超聲清洗,清洗后烘干。

4.根據權利要求2所述的一種Al摻雜的ZnO納米棒的制備方法,其特征在于,步驟2中,磁控濺射時間為3-5min,壓強為8-10Pa,濺射電流為6-10mA。

5.根據權利要求2所述的一種Al摻雜的ZnO納米棒的制備方法,其特征在于,步驟2中,所述ZnO種子層的厚度為30nm。

6.根據權利要求2所述的一種Al摻雜的ZnO納米棒的制備方法,其特征在于,步驟3中,前驅體溶液中六水硝酸鋅、六次甲基四胺和氧化鋁的摩爾比為1:1:(0.1~2.5)。

7.根據權利要求2所述的一種Al摻雜的ZnO納米棒的制備方法,其特征在于,步驟3中,前驅體溶液中六水硝酸鋅的濃度為0.05mol/L,六次甲基四胺的濃度為0.05mol/L,氧化鋁的濃度為0.005~0.125mol/L。

8.根據權利要求2所述的一種Al摻雜的ZnO納米棒的制備方法,其特征在于,步驟4中,水熱反應溫度為90~100℃,水熱反應時間為3~5h。

9.根據權利要求2所述的一種Al摻雜的ZnO納米棒的制備方法,其特征在于,干燥溫度為60℃,干燥時間為1h。

10.一種權利要求1所述的Al摻雜的ZnO納米棒在n-p異質結二極管中的應用。

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