[發(fā)明專利]切削裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011320288.2
• 申請(qǐng)日: 2020-11-23
• 公開（公告）號(hào): CN112847850A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 新田秀次;湯澤治信;松下嘉男
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00;B28D5/02
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

本發(fā)明提供切削裝置，其不會(huì)損傷晶片和切削刀具。切削裝置的控制單元具有如下的功能：吸引檢查功能，在將切削刀具向安裝座安裝之前的壓力計(jì)的值小于第一規(guī)定值的情況下，判斷為吸引孔中堵塞有異物，指示將異物去除；以及安裝檢查功能，在將切削刀具安裝于安裝座之后的壓力計(jì)的值未達(dá)到小于第一規(guī)定值的第二規(guī)定值的情況下，阻止旋轉(zhuǎn)軸開始旋轉(zhuǎn)，并且，在將切削刀具安裝于安裝座之后的壓力計(jì)的值達(dá)到第二規(guī)定值的情況下，容許旋轉(zhuǎn)軸開始旋轉(zhuǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及切削裝置，該切削裝置包含：保持機(jī)構(gòu)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；切削單元，其將切削刀具支承為能夠旋轉(zhuǎn)，該切削刀具在外周具有對(duì)保持機(jī)構(gòu)所保持的被加工物進(jìn)行切削的切刃；以及進(jìn)給機(jī)構(gòu)，其將保持機(jī)構(gòu)和切削單元相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給。

背景技術(shù)

由分割預(yù)定線劃分而在正面上形成有IC、LSI等多個(gè)器件的晶片被具有能夠旋轉(zhuǎn)的切削刀具的切削裝置分割成一個(gè)個(gè)的器件芯片，分割得到的各器件芯片利用于移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)等電子設(shè)備。

本申請(qǐng)人提出了如下的切削裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)：其能夠避免使用在利用螺母將切削刀具緊固于安裝座時(shí)所需要的特殊工具，并且能夠避免產(chǎn)生在利用螺母將切削刀具緊固于安裝座時(shí)由于作業(yè)者所引起的個(gè)體差異。

該切削裝置包含：保持機(jī)構(gòu)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；切削單元，其將切削刀具支承為能夠旋轉(zhuǎn)，該切削刀具在外周具有對(duì)保持機(jī)構(gòu)所保持的被加工物進(jìn)行切削的切刃；以及進(jìn)給機(jī)構(gòu)，其將保持機(jī)構(gòu)和切削單元相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給。切削單元具有：旋轉(zhuǎn)軸；殼體，其將旋轉(zhuǎn)軸支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及安裝座，其形成于旋轉(zhuǎn)軸的前端，對(duì)切削刀具進(jìn)行保持。安裝座具有：輪轂部，其插入至形成在切削刀具的中央的開口中；環(huán)狀的支承部，其形成在輪轂部的外周，使切削刀具的切刃露出而對(duì)該切削刀具進(jìn)行支承；吸引孔，其在輪轂部與支承部之間開口，對(duì)切削刀具進(jìn)行吸引保持；以及連通路，其使吸引孔與吸引源連通。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-154054號(hào)公報(bào)

但是，當(dāng)在異物存在于安裝座與切削刀具之間因而無(wú)法得到充分的吸引力的狀態(tài)下使切削刀具旋轉(zhuǎn)而實(shí)施切削加工時(shí)，存在使晶片和切削刀具損傷的可能性。

另外，當(dāng)形成于安裝座的對(duì)切削刀具進(jìn)行吸引保持的吸引孔中堵塞有異物時(shí)，即使所檢測(cè)的吸引壓力為適當(dāng)?shù)闹担矡o(wú)法充分地保持切削刀具，當(dāng)在該狀態(tài)下使切削刀具旋轉(zhuǎn)而實(shí)施切削加工時(shí)，與上述同樣地存在使晶片和切削刀具損傷的可能性。

發(fā)明內(nèi)容

由此，本發(fā)明的目的在于提供一種切削裝置，其能夠?qū)p傷晶片和切削刀具的可能性抑制得較低。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，提供切削裝置，其中，該切削裝置包含：保持機(jī)構(gòu)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；切削單元，其將切削刀具支承為能夠旋轉(zhuǎn)，該切削刀具在外周具有對(duì)該保持機(jī)構(gòu)所保持的被加工物進(jìn)行切削的切刃；以及進(jìn)給機(jī)構(gòu)，其將該保持機(jī)構(gòu)與該切削單元相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給，該切削單元具有：旋轉(zhuǎn)軸；殼體，其將該旋轉(zhuǎn)軸支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及安裝座，其形成于該旋轉(zhuǎn)軸的前端，對(duì)該切削刀具進(jìn)行保持，該安裝座具有：輪轂部，其插入至形成于該切削刀具的中央的開口中；環(huán)狀的支承部，其形成在該輪轂部的外周，在使該切削刀具的切刃露出的狀態(tài)下對(duì)該切削刀具進(jìn)行支承；吸引孔，其在該輪轂部與該支承部之間開口，對(duì)該切削刀具進(jìn)行吸引保持；以及連通路，其使該吸引孔與吸引源連通，在該連通路上配設(shè)有壓力計(jì)，在該壓力計(jì)上連接有控制單元，該控制單元具有如下的功能：吸引檢查功能，在將該切削刀具向該安裝座安裝之前的該壓力計(jì)的值小于第一規(guī)定值的情況下，判斷為該吸引孔中堵塞有異物，指示將異物去除；以及安裝檢查功能，在已將該切削刀具安裝于該安裝座之后的該壓力計(jì)的值未達(dá)到小于該第一規(guī)定值的第二規(guī)定值的情況下，阻止該旋轉(zhuǎn)軸開始旋轉(zhuǎn)，并且，在已將該切削刀具安裝于該安裝座之后的該壓力計(jì)的值達(dá)到該第二規(guī)定值的情況下，容許該旋轉(zhuǎn)軸開始旋轉(zhuǎn)。