[發(fā)明專利]提升超快激光薄膜性能的多參數(shù)綜合優(yōu)化膜系設(shè)計(jì)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011317467.0
• 申請(qǐng)日: 2020-11-23
• 公開（公告）號(hào): CN112327478B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王胭脂;張宇暉;賀洪波;陳瑞溢;王志皓;陳昌;許貝貝;朱曄新;晉云霞;邵宇川;易葵;邵建達(dá)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G02B27/00
• 分類號(hào): G02B27/00;G02B1/10
• 代理公司: 上海恒慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種提升超快激光薄膜性能的多參數(shù)綜合優(yōu)化膜系設(shè)計(jì)方法，其特征在于：所述方法包括以下步驟：

1)設(shè)定初始膜系結(jié)構(gòu)，通過(guò)局域優(yōu)化法對(duì)評(píng)價(jià)函數(shù)進(jìn)行快速搜索，得到接近目標(biāo)值；

2)通過(guò)針式優(yōu)化法在膜系內(nèi)部不斷插入薄層，直至不能近一步接近目標(biāo)值或不能進(jìn)一步降低評(píng)價(jià)函數(shù)值時(shí)，終止針式優(yōu)化；

3)根據(jù)步驟2)針式優(yōu)化得到的設(shè)計(jì)結(jié)果，使用局部?jī)?yōu)化法進(jìn)一步優(yōu)化；

4)觀察由步驟3)得到的設(shè)計(jì)結(jié)果中是否存在極薄層，若膜層的光學(xué)厚度大于小于則將此膜層的光學(xué)厚度修改為并將此膜層設(shè)置為非優(yōu)化層，在后續(xù)的優(yōu)化過(guò)程中，此膜層不作優(yōu)化；若膜層的光學(xué)厚度小于則選擇刪除此膜層，并合并相同材料構(gòu)成的相鄰膜層；

5)對(duì)步驟4)得到的設(shè)計(jì)結(jié)果，使用局部?jī)?yōu)化法進(jìn)一步優(yōu)化，若膜系中仍存在極薄層，重復(fù)步驟4)，若膜系中不存在極薄層，進(jìn)行步驟6)；

6)觀察由步驟5)得到的設(shè)計(jì)結(jié)果中是否存在極厚層，若膜層的光學(xué)厚度大于小于λ，則將此膜層的光學(xué)厚度修改為并此膜層設(shè)置為非優(yōu)化層，在后續(xù)的優(yōu)化過(guò)程中，此膜層不作優(yōu)化；若膜層的光學(xué)厚度大于λ，則拆分此膜層，將此膜層改為由三層膜結(jié)構(gòu)，第一層和第三層的膜層材料與此極厚層一致，光學(xué)厚度為極厚層的一半，第二層為其他材料構(gòu)成的膜層，光學(xué)厚度為

7)對(duì)步驟6)得到的這個(gè)設(shè)計(jì)結(jié)果，使用局部?jī)?yōu)化方法進(jìn)一步優(yōu)化，若膜系中仍存在極厚層，重復(fù)步驟6)，若膜系中不存在極厚層，得到最終設(shè)計(jì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升超快激光薄膜性能的多參數(shù)綜合優(yōu)化膜系設(shè)計(jì)方法，其特征在于，所述的步驟1)中的局部?jī)?yōu)化法包括單純形法(simplex method)、變尺度法(variable metric)、牛頓法或者梯度法(Gradient)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升超快激光薄膜性能的多參數(shù)綜合優(yōu)化膜系設(shè)計(jì)方法，其特征在于，所述的步驟2)中的針式優(yōu)化終止參數(shù)包括膜層總數(shù)和膜層總厚度。