[發明專利]加速度傳感器及電子設備

在審

• 申請號: 202011311384.0
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN112269034A
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 李哲;莊瑞芬;李剛
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01P15/08
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司 11505
• 代理人: 秦衛中

1.一種加速度傳感器，其特征在于，包括：

襯底；

質量塊，其中，所述質量塊包括第一區域和第二區域，所述質量塊與所述襯底可動連接，以使得在所述第一區域和所述第二區域圍繞垂直于所述質量塊所在平面的Z軸扭轉時，所述加速度傳感器檢測X方向上的加速度，所述X方向位于所述平面內。

2.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述質量塊上設置有沿所述X方向延伸的第一彈簧梁，所述第一彈簧梁位于所述第一區域和所述第二區域之間，所述第一區域和所述第二區域之間通過所述第一彈簧梁的中部相互連接。

3.根據權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，所述第一區域的重心到所述第一彈簧梁的距離大于所述第二區域的重心到所述第一彈簧梁的距離。

4.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述質量塊上設置有沿所述X方向延伸的第二彈簧梁和第三彈簧梁，所述第二彈簧梁位于所述第一區域的外側，所述第三彈簧梁位于所述第二區域的外側，在所述第一區域和所述第二區域沿Y方向運動時，所述加速度傳感器檢測所述Y方向上的加速度。

5.根據權利要求4所述的加速度傳感器，其特征在于，所述襯底上設置有第一固定點和第二固定點，所述第一固定點與所述第二彈簧梁連接，所述第二固定點與所述第三彈簧梁連接。

6.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述第一區域上設置有第一可動電極，第二可動電極，所述襯底上設置有第一固定電極和第二固定電極，所述第一可動電極與所述第一固定電極構成第一電容，所述第二可動電極與所述第二固定電極構成第二電容，所述第一電容的電容變化方向與所述第二電容的電容變化方向相反，所述第一電容與所述第二電容用于檢測所述X方向上的加速度。

7.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述第一區域上設置有至少一個鏤空區域，在所述至少一個鏤空區域的每個鏤空區域中，所述襯底上設置有至少一個第三固定電極，所述鏤空區域的側壁與所述至少一個第三固定電極形成第三電容，所述第三電容用于檢測Y方向上的加速度。

8.根據權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，所述襯底上設置有第四固定電極，所述第四固定電極與所述第一區域之間形成第四電容，所述第四電容用于在所述第一區域和所述第二區域繞所述第一彈簧梁轉動時檢測Z方向上的加速度。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的加速度傳感器，其特征在于，所述襯底上設置有用于檢測所述X方向上的加速度的第一固定電極和第二固定電極、用于檢測Y方向上的加速度的第三固定電極和第五固定電極、用于檢測Z方向上的加速度的第四固定電極和第六固定電極，其中，所述第一固定電極、所述第三固定電極和所述第四固定電極分別與位于所述襯底一側的引線連接，所述第二固定電極、所述第五固定電極和所述第六固定電極分別與位于所述襯底另一側的引線連接。

10.一種電子設備，其特征在于，包括如權利要求1至9中的任一項所述的加速度傳感器。