[發明專利]一種探針卡用高效預熱裝置

有效

• 申請號: 202011310795.8
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN112578162B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 柯鳴華
• 申請（專利權）人: 旺矽科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海微策知識產權代理事務所(普通合伙) 31333
• 代理人: 張靜

本發明公開了一種探針卡用高效預熱裝置，包括底座、預熱裝置保護外殼、轉盤安裝底座和吹風扇保護外殼，所述預熱裝置保護外殼的內部依次設有隔溫層與保溫層，所述預熱裝置保護外殼內部的兩側皆固定安裝有電阻加熱絲，所述預熱裝置保護外殼內部的頂部固定安裝有溫度傳感器，所述轉盤安裝底座的內部通過轉動軸桿轉動安裝有轉盤，所述預熱裝置保護外殼的底部通過電動機外殼固定安裝有電動機，所述預熱裝置保護外殼的兩側皆通過吹風扇保護外殼固定安裝有吹風扇，所述預熱裝置保護外殼正面的頂部固定安裝有控制面板。本發明通過吹風扇與電阻加熱絲與隔溫層與保溫層，使得裝置可以快速升溫進行預熱，提高了裝置整體的實用性。

技術領域

本發明涉及探針卡預熱技術領域，具體為一種探針卡用高效預熱裝置。

背景技術

探針卡(Probe?Card)是負責測試系統與集成電路芯片之間的電氣連接，在對晶圓進行功能測試時，探針卡上的探針與晶圓的焊墊接觸，對晶圓輸出測試信號或者接收晶圓輸出的信號，探針卡對前期測試的開發及后期量產測試的良率保證都非常重要，是晶圓制造過程中對制造成本影響相當大的重要制程,現需要一種探針卡用高效預熱裝置，但是現有的探針卡用預熱裝置在很多問題或缺陷：

1.現有的探針卡預熱裝置無法在短時間內快速升溫，需要一定的升溫時間會造成加工時間延長，無法滿足快速升溫的作業需求；

2.且現有的探針卡預熱裝置在升溫加熱的過程中無法保證裝置內可以是平均溫度，溫度的升高突然升高會造成探針卡的損壞導致探針卡的質量出現問題，降低了裝置的使用性。

3.聚氨酯發泡材料因穩定性好、耐化學性、回彈性和力學性能好而被廣泛應用于建筑、汽車、航空工業等領域，但聚氨酯分子鏈結構中部分特征基團的熱降解溫度在150℃以下，使得聚氨酯的長期使用溫度一般在80℃左右，這極大程度限制了聚氨酯材料在保溫需求方面的應用。

發明內容

本發明的目的在于提供一種探針卡用高效預熱裝置，以解決上述背景技術中提出的探針卡預熱裝置工作效率低的問題，將改性聚氨酯材料應用于預熱裝置結構中，以達到快速升溫、溫度均勻穩定的使用效果。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種探針卡用高效預熱裝置，包括底座、預熱裝置保護外殼、轉盤安裝底座和吹風扇保護外殼，所述底座的頂部固定安裝有預熱裝置保護外殼，所述預熱裝置保護外殼的內部依次設有隔溫層與保溫層，所述預熱裝置保護外殼內部的兩側皆固定安裝有電阻加熱絲，所述電阻加熱絲的一側固定安裝有擋板，所述預熱裝置保護外殼內部的頂部固定安裝有溫度傳感器，所述預熱裝置保護外殼內部的底部固定安裝有轉盤安裝底座，所述轉盤安裝底座的內部通過轉動軸桿轉動安裝有轉盤，且轉盤的底部設有滾輪，所述預熱裝置保護外殼的底部通過電動機外殼固定安裝有電動機，且電動機通過聯軸器與轉動軸桿轉動連接，所述預熱裝置保護外殼的兩側皆通過吹風扇保護外殼固定安裝有吹風扇，所述預熱裝置保護外殼正面的頂部固定安裝有控制面板，且控制面板上依次設有定時器與溫度控制器。

優選的，所述底座與預熱裝置保護外殼之間通過支撐架固定安裝，且底座的底部設有配合使用的橡膠保護墊。

優選的，所述預熱裝置保護外殼的正面活動安裝有活動保護門，且活動保護門上固定安裝有卡扣組件，所述卡扣組件是由軸桿與橫桿與卡塊組成。

優選的，所述擋板與吹風扇保護外殼上皆設有配合使用的通氣孔，所述轉盤安裝底座與轉盤上皆設有與滾輪配合使用的滑槽，且轉盤放置有配合使用的承物架。

優選的，所述控制面板通過導線分別與電動機、電阻加熱絲、溫度傳感器與吹風扇電性連接。

優選的，所述吹風扇保護外殼與電動機外殼上皆設有密封板，且密封板上設有配合使用的散熱孔。

優選的，所述隔溫層的材質為改性聚氨酯。

與現有技術相比，本發明設計的創新點效果是：該探針卡用預熱裝置合理，具有以下優點：