[發(fā)明專利]一種金屬氧化物微納結(jié)構(gòu)、其制備方法和應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011309049.7
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN112271238B
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 熊偉;王瑩琛;徐一諾;喻克望;龍婧;焦玢璋;劉耘呈;范旭浩;高輝;鄧?yán)诿?/a>
• 申請（專利權(quán)）人: 華中科技大學(xué)
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/032;H01L31/08
• 代理公司: 武漢華之喻知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42267
• 代理人: 彭翠;方放

1.一種金屬氧化物微納結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，包含如下步驟：

(1)采用溶膠凝膠法制備得到金屬氧化物前驅(qū)體溶膠凝膠；具體為：將金屬氧化物前驅(qū)體、溶劑以及穩(wěn)定劑混合，采用溶膠凝膠法制備得到金屬氧化物前驅(qū)體溶膠凝膠；所述金屬氧化物的前驅(qū)體為所述金屬氧化物對應(yīng)的氯鹽、醋酸鹽或醇鹽；所述穩(wěn)定劑選自單乙醇胺、二乙醇胺和檸檬酸；

(2)向步驟(1)得到的金屬氧化物前驅(qū)體溶膠凝膠中加入醇類有機(jī)改性劑，混合均勻得到改性的前驅(qū)體溶膠凝膠；所述醇類有機(jī)改性劑為甘油和/或聚乙二醇；

(3)將步驟(2)獲得的改性的前驅(qū)體溶膠凝膠涂覆在襯底上，得到金屬氧化物前驅(qū)體溶膠凝膠薄膜；

(4)采用飛秒激光對所述前驅(qū)體溶膠凝膠薄膜進(jìn)行直寫，利用飛秒激光光焦點(diǎn)處產(chǎn)生的熱量使金屬氧化物前驅(qū)體發(fā)生反應(yīng)生成金屬氧化物，同時在襯底表面形成金屬氧化物微納結(jié)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1 所述的制備方法，其特征在于，所述金屬氧化物為二氧化錫、氧化鋅或二氧化鈦；

所述溶劑為乙二醇甲醚、乙醇、二甲基亞砜和二甲基甲酰胺中的一種或多種。

3.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述溶膠凝膠中金屬氧化物前驅(qū)體對應(yīng)的金屬陽離子的濃度為0.5-1mol/L。

4.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述醇類有機(jī)改性劑的體積與所述改性的前驅(qū)體溶膠凝膠的體積比為(1～30)：100。

5.如權(quán)利要求1至4任一項所述的制備方法制備得到的金屬氧化物微納結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求5所述的金屬氧化物微納結(jié)構(gòu)的應(yīng)用，其特征在于，用于制備微納紫外光電探測器。

7.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用，其特征在于，在所述金屬氧化物微納結(jié)構(gòu)表面旋涂光刻膠，按照金屬電極掩膜圖形在所述光刻膠表面形成金屬電極圖案，根據(jù)該圖案淀積金屬電極，將光刻膠清洗除去，得到微納紫外光電探測器。

8.一種微納紫外光電探測器，其特征在于，包含如權(quán)利要求5所述的金屬氧化物微納結(jié)構(gòu)，還包括位于微納結(jié)構(gòu)表面的金屬電極。