[發(fā)明專利]由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體及其合成方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011307086.4 | 申請日： | 2020-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN112390718A | 公開（公告）日： | 2021-02-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 潘新剛;傅志偉;賀寶元;邵嚴(yán)亮;毛國平 | 申請（專利權(quán)）人： | 徐州博康信息化學(xué)品有限公司 |
| 主分類號： | C07C69/54 | 分類號： | C07C69/54;C07C67/14;C07C29/40;C07C35/31;C08F222/14;G03F7/004 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 221327 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 甲基 2.2 辛烷 合成 降解 光刻 樹脂 單體 及其 方法 | ||
1.由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述樹脂單體結(jié)構(gòu)式如下：
其中R1為飽和烷烴或者環(huán)烷烴，R2為氫或者甲基。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述樹脂單體的具體結(jié)構(gòu)包括：
3.由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述合成方法的反應(yīng)路線為：
合成步驟：
第一步格氏反應(yīng)，在惰性氣體保護(hù)下，1,3,3-三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷-2,5-二酮(Ⅰ)與烷基格氏試劑或者環(huán)烷基格氏試劑反應(yīng)，反應(yīng)結(jié)束后加水淬滅，后處理純化得到中間體(Ⅱ)；
第二步酯化反應(yīng)，在堿性條件下，中間體(Ⅱ)與丙烯酰氯或者甲基丙烯酰氯反應(yīng)，后處理純化后得到樹脂單體(Ⅲ)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述格氏反應(yīng)的溫度為0-30攝氏度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述格氏反應(yīng)的溶劑為無水乙醚。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述酯化反應(yīng)的反應(yīng)溫度0-70攝氏度。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述酯化反應(yīng)的溶劑選自四氫呋喃、甲苯或者氯仿。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的由三甲基二環(huán)[2.2.2]辛烷二酮合成的可降解型光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，為保證酯化反應(yīng)的堿性條件，需要向體系中添加三乙胺或者吡啶。
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