[發明專利]透射靶標及其光束調節方法

在審

• 申請號: 202011305664.0
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN112304254A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 楊奇龍;馬曉燠;樊志華;賈天豪;游雙慧
• 申請（專利權）人: 南通乾易光電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/27
• 分類號: G01B11/27
• 代理公司: 重慶智慧之源知識產權代理事務所(普通合伙) 50234
• 代理人: 高彬

本發明提供一種透射靶標及其光束調節方法，該透射靶標激光器、透射棱鏡、第一楔形鏡、第二楔形鏡、第一CCD探測器、第二CCD探測器以及二維傾斜調整架；激光器用于產生激光光束，并通過透射棱鏡；透射棱鏡利用反射和透射原理將激光光束分為反射光束和透射光束；透射光束依次通過第一楔形鏡、第二楔形鏡、第一CCD探測器與第二CCD探測器，第一楔形鏡與第二楔形鏡用于角度調節實現對透射棱鏡引起的光束偏移補償，第一CCD探測器與第二CCD探測器用于記錄光斑位置；二維傾斜調整架用于放置透射棱鏡、第一楔形鏡以及第二楔形鏡，用于對透射棱鏡引起的光束平移。解決了透射棱鏡加工誤差導致的光束偏移問題，在多目標點的準直和監測中，可保證準直的精度。

技術領域

本發明涉及光學設備領域，尤其涉及一種透射靶標及其光束調節方法。

背景技術

激光由于其亮度高、方向性好的特點可以用于設備的準直。激光準直以激光束的能量中心點的連線為基準線，激光束照射在靶標上，靶標里面的光斑探測器測量得到靶標相對于激光基準線的位置信息，將靶標安裝在待測設備上，進而可以得到設備與設備之間的相對位置關系。對于多臺設備的準直，基于常規靶標的激光準直是采用靶標移動測量的方法，即將靶標安置在當前待準直的設備上，測量設備相對于激光束的位置，然后移開這個靶標，讓激光束通過，再將靶標安置在下一個待準直的設備上，這樣依次測量，即得到所有設備相對于激光束的位置關系。由于這種常規的靶標會阻擋或改變激光的傳播，而導致下游的靶標無法接收到激光，這種常規靶標不能用于多設備的在線同步準直以及實時位移監測。

目前，通過激光透射靶標，可同時進行多目標點的準直和監測，在此技術中激光光束會通過透射棱鏡進行傳播，但是由于棱鏡存在一定的加工誤差，這樣會導致透射的光束產生一定的傾斜，從而影響準直的精度。

發明內容

本發明提供的透射靶標及其光束調節方法，主要解決的技術問題是：激光透射靶標光束傾斜，影響精度。

為解決上述技術問題，本發明提供一種透射靶標，包括激光器、透射棱鏡、第一楔形鏡、第二楔形鏡、第一CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合器件)探測器、第二CCD探測器以及二維傾斜調整架；所述激光器用于產生激光光束，并通過所述透射棱鏡；所述透射棱鏡利用反射和透射原理將所述激光光束分為反射光束和透射光束；所述透射光束依次通過所述第一楔形鏡、所述第二楔形鏡、所述第一CCD探測器與所述第二CCD探測器，所述第一楔形鏡與所述第二楔形鏡用于角度調節實現對所述透射棱鏡引起的光束偏移補償，所述第一CCD探測器與所述第二CCD探測器用于記錄光斑位置；所述二維傾斜調整架用于放置所述透射棱鏡、所述第一楔形鏡以及所述第二楔形鏡，用于補償對所述透射棱鏡引起的光束平移。

本發明還提供一種透射靶標的光束調節方法，包括：

打開激光器，直接通過第一CCD探測器和第二CCD探測器，記錄光斑基準位置，得到基準光束；

在光路中加入透射棱鏡與兩個楔形鏡，使透過所述透射棱鏡的透射光束通過所述兩個楔形鏡；

利用所述第一CCD探測器和所述第二CCD探測器記錄光斑實際位置，得到待校準光束；

調節所述兩個楔形鏡的旋轉角度，使得所述第一CCD探測器的光斑位置偏差與所述第二CCD探測器的光斑位置偏差一致，保證所述待校準光束與所述基準光束平行；所述光斑位置偏差為所述光斑實際位置與所述光斑基準位置之偏差；

調節二維傾斜調整架，使得所述第一CCD探測器的光斑位置偏差與所述第二CCD探測器的光斑位置偏差均為0，此時所述待校準光束與所述基準光束重合。

本發明的有益效果是：