[發明專利]毛細槽表面處理方法及均熱板

在審

• 申請號: 202011303287.7
• 申請日: 2020-11-19
• 公開（公告）號: CN114518047A
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 孫萬華;揭海歡
• 申請（專利權）人: 江西新菲新材料有限公司
• 主分類號: F28D15/04
• 分類號: F28D15/04;H05K7/20;F28F19/00
• 代理公司: 廣州德科知識產權代理有限公司 44381
• 代理人: 林玉旋;萬振雄

本發明公開了一種毛細槽表面處理方法及均熱板。所述方法包括如下步驟：提供一金屬基材，所述金屬基材的表面具有多個毛細槽；在所述毛細槽的槽壁覆蓋防銹材料形成防銹保護層。上述毛細槽表面處理方法通過在毛細槽的槽壁覆蓋防銹材料形成防銹保護層，可對毛細槽槽壁進行防銹保護，防止其在高溫高濕環境下發生腐蝕，還可降低毛細槽槽壁與液體工質的接觸角，增加了毛細槽槽壁的潤濕性，相應提高液體工質與毛細槽之間的毛細作用力，增強毛細槽中液體工質的回流能力，均熱板的散熱效果較佳，且覆蓋防銹材料的工藝過程簡單、易操作、成本較低，在覆蓋后不會影響金屬基材的力學性能。

技術領域

本發明涉及散熱技術領域，具體涉及一種毛細槽表面處理方法及均熱板。

背景技術

隨著5G通信時代的到來，手機芯片的信息處理量越來越大，耗電量及發熱量也越來越高，這對手機散熱系統的要求也就更高。超薄均熱板(Vapor Chamber，VC)以其優異的散熱效果及超薄結構，正逐漸成為5G手機散熱系統的標配。均熱板是一個內壁具有微細結構的真空腔體，當熱量從熱源傳導至發熱端時，真空腔體里的液體工質受熱開始氣化，氣化后的液體工質充滿整個真空腔體，當氣化后的液體工質到達冷凝端時便會開始液化，并釋放出在蒸發時累積的熱，液化后的液體工質會通過微細結構的毛細管道再回流到發熱端，并以此周而復始進行，從而達到均熱的效果。

目前的均熱板是一般是由銅或銅合金腔體內置毛細結構制成的，在低真空狀態下，液體工質會在均熱板內腔形成高溫高濕環境，從而對銅或銅合金進行緩慢腐蝕。在實現本申請的過程中，發明人發現現有技術中至少存在如下問題：現有的非蝕刻類均熱板一般采用表面充氮高溫燒結(600℃以上)保護層的方法，制作工藝比較復雜，高溫燒結防銹的加工成本較高，且對銅或銅合金的原材特性有要求，高溫燒結情況下力學性能可能會發生變化；蝕刻類均熱板在完成毛細槽加工后無法再進行高溫燒結防銹，且蝕刻類均熱板的毛細槽與液體工質的接觸角較大，潤濕性較差，從而使得均熱板的散熱效果較差。

發明內容

鑒于以上內容，有必要提出一種毛細槽表面處理方法及均熱板，以解決上述問題。

本申請的實施例提供一種毛細槽表面處理方法，包括如下步驟：

提供一金屬基材，所述金屬基材的表面具有多個毛細槽；

在所述毛細槽的槽壁覆蓋防銹材料形成防銹保護層。

上述毛細槽表面處理方法通過在毛細槽的槽壁覆蓋防銹材料形成防銹保護層，可對毛細槽槽壁進行防銹保護，防止其在高溫高濕環境下發生腐蝕，還可降低毛細槽槽壁與液體工質的接觸角，增加了毛細槽槽壁的潤濕性，相應提高液體工質與毛細槽之間的毛細作用力，增強毛細槽中液體工質的回流能力，均熱板的散熱效果較佳，且覆蓋防銹材料的工藝過程簡單、易操作、成本較低，在覆蓋后不會影響金屬基材的力學性能。

在一些實施例中，所述在所述毛細槽的槽壁覆蓋防銹材料形成防銹保護層的步驟之前，所述方法還包括：

粗化處理所述毛細槽的槽壁。

如此，改變了毛細槽槽壁的表面外觀結構，增大了毛細槽槽壁的粗糙度，進一步地增加毛細槽槽壁的潤濕性，提高了液體工質與毛細槽之間的毛細作用力。

在一些實施例中，形成所述防銹保護層的方式為利用噴淋、浸泡或蒸鍍的方式將所述防銹材料形成于所述毛細槽的槽壁。

如此，可對毛細槽槽壁進行防銹保護，并降低毛細槽槽壁與液體工質的接觸角，增加了毛細槽槽壁的潤濕性。

在一些實施例中，防銹保護層為所述防銹材料形成的單層結構或多層結構。

如此，單層結構或多層結構的防銹保護層均可對毛細槽槽壁進行防銹保護，并降低毛細槽槽壁與液體工質的接觸角，增加了毛細槽槽壁的潤濕性。

在一些實施例中，所述隔離膜的形成材料包括2,6-二叔丁基對甲酚、三唑化合物、芳香醇的一種或多種。