[發明專利]鎓鹽化合物、化學增幅抗蝕劑組成物、以及圖案形成方法有效
| 申請號： | 202011302393.3 | 申請日： | 2020-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN112824382B | 公開（公告）日： | 2023-09-29 |
| 發明（設計）人： | 藤原敬之;及川健一;小林知洋;福島將大 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | C07C381/12 | 分類號： | C07C381/12;C07C69/80;C07C25/18;C07C69/92;C07C69/96;C07D309/12;C07D333/76;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鹽化 化學 增幅 抗蝕劑 組成 以及 圖案 形成 方法 | ||
1.一種鎓鹽化合物，是以下式(2)表示的；
式中，n及m為符合1≤n≤5、0≤m≤4及1≤n+m≤5的整數；
R3為氫原子或亦可含有雜原子的碳數1～10的烴基；
R4為氫原子、氟原子、碘原子、羥基、或亦可含有雜原子的碳數1～10的烴基，該烴基中的-CH2-亦可經醚鍵或羰基取代；m為2以上時，各R4彼此可相同也可不同，2個R4亦可彼此鍵結并與它們所鍵結的碳原子一起形成環；
M+為銨陽離子、锍陽離子或錪陽離子；
R為下式(R-1)、(R-2)、(R-3)、(R-4)或(R-5)表示的基團；
式中，Rr1、Rr2、Rr3及Rr4各自獨立地為碳數1～10的烴基；又，Rr1及Rr2亦可彼此鍵結并與它們所鍵結的碳原子一起形成環；
Rr5及Rr6各自獨立地為氫原子或碳數1～5的烴基；又，Rr4、Rr5及Rr6中的任2者亦可彼此鍵結并與它們所鍵結的原子一起形成環；
虛線為與式(2)中的苯基的原子鍵。
2.根據權利要求1所述的鎓鹽化合物，其中，R3為氫原子、異丙基、金剛烷基或亦可經取代的苯基。
3.根據權利要求1或2所述的鎓鹽化合物，其中，R為式(R-1)或(R-2)表示的基團。
4.根據權利要求1或2所述的鎓鹽化合物，其中，M+為下式(M-1)～(M-4)中的任一者表示的陽離子；
式中，RM1、RM2、RM3、RM4及RM5各自獨立地為氫原子、鹵素原子、羥基、或亦可含有雜原子的碳數1～15的烴基，該烴基中的-CH2-亦可經醚鍵、羰基或磺?；〈?；
L2及L3各自獨立地為單鍵、亞甲基、醚鍵、硫醚鍵、羰基、亞磺?；?sulfinyl)、磺?；?N(RN)-；RN為氫原子或亦可含有雜原子的碳數1～10的烴基，該烴基中的-CH2-亦可經醚鍵、羰基或磺?；〈?；
p、q、r、s及t各自獨立地為0～5的整數；p為2以上時，各RM1彼此可相同也可不同，2個RM1亦可彼此鍵結并與它們所鍵結的苯環上的碳原子一起形成環；q為2以上時，各RM2彼此可相同也可不同，2個RM2亦可彼此鍵結并與它們所鍵結的苯環上的碳原子一起形成環；r為2以上時，各RM3彼此可相同也可不同，2個RM3亦可彼此鍵結并與它們所鍵結的苯環上的碳原子一起形成環；s為2以上時，各RM4彼此可相同也可不同，2個RM4亦可彼此鍵結并與它們所鍵結的苯環上的碳原子一起形成環；t為2以上時，各RM5彼此可相同也可不同，2個RM5亦可彼此鍵結并與它們所鍵結的苯環上的碳原子一起形成環。
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