日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發(fā)明專利]用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面鈍化結(jié)構(gòu)及其器件有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202011302202.3 申請日: 2020-11-19
公開(公告)號: CN112420813B 公開(公告)日: 2022-08-02
發(fā)明(設(shè)計)人: 郭德霄;林志東;何俊蕾;王立閣;汪曉媛;趙杰;劉成;葉念慈 申請(專利權(quán))人: 廈門市三安集成電路有限公司
主分類號: H01L29/06 分類號: H01L29/06;H01L29/20;H01L29/40;H01L29/778;H01L21/02
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 361100 福建省廈門*** 國省代碼: 福建;35
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 氮化物 器件 表面 鈍化 結(jié)構(gòu) 及其
【權(quán)利要求書】:

1.用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面鈍化結(jié)構(gòu),其特征在于:包括位于Ⅲ-Ⅴ族氮化物基底上的Al1-xScxN層和AlySc2-yO3層,Al1-xScxN層和AlySc2-yO3層由下至上依次層疊設(shè)置,其中,Al1-xScxN層的厚度為0.5~10nm,0<x≤1;AlySc2-yO3層的厚度為1~20nm,0≤y<2,Al1-xScxN層的厚度≤AlySc2-yO3層的厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面鈍化結(jié)構(gòu),其特征在于:Al1-xScxN層具有多層結(jié)構(gòu),或者,AlySc2-yO3層具有多層結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面鈍化結(jié)構(gòu),其特征在于:在Al1-xScxN層的多層結(jié)構(gòu)中,每一層中Al的含量由下至上依次遞增,Sc含量由下至上依次遞減。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面鈍化結(jié)構(gòu),其特征在于:在AlySc2-yO3層的多層結(jié)構(gòu)中,每一層中Al的含量由下至上依次遞減,Sc含量由下至上依次遞增。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面鈍化結(jié)構(gòu),其特征在于:還包括AlN層,Al1-xScxN層層疊于AlN層上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面鈍化結(jié)構(gòu),其特征在于:還包括Al2O3層,Al2O3層層疊于AlySc2-yO3層上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面鈍化結(jié)構(gòu),其特征在于:Al1-xScxN層和AlySc2-yO3層的沉積方式為原子層沉積。

8.一種Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件,至少包括基底、電極和鈍化保護(hù)層,電極和鈍化保護(hù)層位于基底上;其特征在于:還包括如權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中任一項(xiàng)所述的表面鈍化結(jié)構(gòu),其中,Al1-xScxN層位于基底和電極上,鈍化保護(hù)層位于AlySc2-yO3層上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件,其特征在于:鈍化保護(hù)層具體為SiN層、SiO2和SiON中的一種或多種。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件,其特征在于:基底至少為AlGaN、GaN、InAlGaN、InGaN、InAlN、InN和AlN中的任意一種。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于廈門市三安集成電路有限公司,未經(jīng)廈門市三安集成電路有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202011302202.3/1.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊】

關(guān)于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 亚洲欧美国产精品一区二区| 午夜国产一区二区| 海量av在线| 午夜国产一区二区三区四区| 欧美日韩国产午夜| 福利片一区二区三区| 丰满少妇高潮惨叫久久久一| 在线国产精品一区| 热re99久久精品国99热蜜月| 欧美精品八区| 狠狠躁天天躁又黄又爽| 国产精品视频久久久久| 日日狠狠久久8888偷色| 国产精品中文字幕一区二区三区| 日韩av在线导航| 91婷婷精品国产综合久久| 性色av色香蕉一区二区| 国产精品欧美日韩在线| 国产一区二三| 亚洲久色影视| 国产精品天堂网| 欧美日韩国产色综合视频| 国内久久久| 欧美在线观看视频一区二区三区| 午夜理伦影院| 欧美精品五区| 黄色香港三级三级三级| 国产一区免费播放| 国产精品久久久久久久久久软件| 亚洲v欧美v另类v综合v日韩v| 久久中文一区| 国产日韩欧美专区| 国产欧美日韩精品一区二区三区| 日韩中文字幕区一区有砖一区| 91精品啪在线观看国产线免费| 精品福利一区| 日韩av在线资源| 黑人巨大精品欧美黑寡妇| 日韩有码一区二区三区| 国产无套精品久久久久久| 国产在线一区二区视频| 国产人成看黄久久久久久久久| 日韩精品免费看| 午夜国产一区二区| 欧美高清性xxxxhdvideos| 强行挺进女警紧窄湿润| 日本一二三区视频在线| 国产免费一区二区三区四区| 国产人成看黄久久久久久久久| 男女午夜影院| 狠狠色噜噜狠狠狠四色米奇| 香蕉免费一区二区三区在线观看| 亚洲网站久久| 国产一区二区精品在线| 四虎影视亚洲精品国产原创优播| 午夜精品一区二区三区在线播放| 国产的欧美一区二区三区| 国产精品999久久久| 国产精品一区在线播放| 99久久免费精品国产男女性高好| 国产精品一区二区免费| 狠狠躁夜夜| 中文字幕制服丝袜一区二区三区 | 国产一区二区影院| 欧美一区二区三区激情| 亚洲一区二区三区加勒比| 欧美在线视频二区| 午夜爱爱电影| 高清人人天天夜夜曰狠狠狠狠| 色婷婷精品久久二区二区6| 国产乱人伦偷精品视频免下载| 国产日韩欧美中文字幕| 97国产精品久久| 国产视频在线一区二区| 久久九九国产精品| 国产69精品福利视频| 国产欧美日韩综合精品一| 日韩精品一区二区中文字幕| 午夜电影一区| 欧美精品日韩| 亚洲欧洲一二三区| 久99精品| 日韩三区三区一区区欧69国产| 国产乱老一区视频| 少妇特黄v一区二区三区图片| 午夜理伦影院| 热久久一区二区| 欧美一区二区三区免费观看视频| 欧美日韩久久一区| 国产欧美日韩中文字幕| 国产亚洲久久| 欧美高清性xxxx| 亚洲国产精品97久久无色| 久久精品国产一区二区三区不卡| 日韩av在线中文| 国产一区二区三区四区五区七| 毛片大全免费看| 97久久精品一区二区三区观看| 最新国产精品久久精品| 91精品国产综合久久国产大片| 久久精品国语| 国产一区二区三区四区五区七| 国产在线视频二区| 国产欧美一区二区三区在线播放| 亚洲精华国产欧美| 日韩国产精品一区二区| 岛国精品一区二区| 亚洲国产精品一区在线| 91丝袜诱惑| 91麻豆精品国产91久久| 日韩一区免费| 国产一区二区三区的电影| 狠狠综合久久av一区二区老牛| 国产一区二区三区在线电影| 亚洲欧洲另类精品久久综合| 国产欧美日韩综合精品一| 国产理论一区二区三区| 精品99免费视频| 日韩区欧美久久久无人区| 国产日韩区| 精品国产91久久久久久久| 91精品一区在线观看| 香蕉av一区| 亚洲精品国产精品国产| 一区二区精品久久| 国产九九影院| 久久噜噜少妇网站| 国产精品一区不卡| 国产精品国外精品| 精品久久久综合| a级片一区| 国产一区二区三区小说| 国产欧美一二三区| 欧美日韩一卡二卡| 免费观看xxxx9999片| 26uuu亚洲国产精品| 精品久久久久久亚洲综合网| 精品国产乱码一区二区三区在线| 亚洲欧美自拍一区| 91国内精品白嫩初高生| 午夜看片网站| 正在播放国产一区二区| 特高潮videossexhd| 少妇厨房与子伦在线观看| 国产精品国精产品一二三区| 精品99在线视频| 欧美精选一区二区三区| 亚洲欧洲一二三区| 欧美一区二区三区三州| 99久久精品国产国产毛片小说| 欧美一区二区三区久久久久久桃花| 国产精品二十区| 国产理论一区二区三区| 挺进警察美妇后菊| 国产精品久久久久久久四虎电影| 国产在线视频99| 美女直播一区二区三区| 国产特级淫片免费看| 久久亚洲精品国产日韩高潮| 午夜影院啪啪| 国产91电影在线观看| 97人人澡人人爽91综合色| 亚洲1区在线观看| 国产精品日韩精品欧美精品 | 中出乱码av亚洲精品久久天堂| 免费毛片a| 96国产精品| 午夜看片网站| 91精品久久久久久综合五月天| 久久久精品a| 国产精品入口麻豆九色| 性欧美1819sex性高播放| 91久久国语露脸精品国产高跟| 国产69精品99久久久久久宅男| а√天堂8资源中文在线| 久久久精品中文| 欧美日韩一区电影| 国产精品亚洲精品| 欧美一级久久精品| 欧美日韩一区二区三区不卡视频| 国产超碰人人模人人爽人人添| 国产精品一区在线播放| 国产专区一区二区| 91精品国产综合久久福利软件| 97精品国产aⅴ7777| 亚洲自拍偷拍中文字幕| 国语对白一区二区三区| 日韩精品免费一区二区夜夜嗨| 欧美极品少妇videossex| 99久久精品国产国产毛片小说| 亚洲精品欧美精品日韩精品| 国产精品无码专区在线观看 | 黄色国产一区二区| 99国产精品永久免费视频 | 国产精品5区| 午夜天堂在线| 91麻豆精品国产91久久| 国产一区日韩在线| 国偷自产一区二区三区在线观看| 97视频一区| 久爱视频精品| 一色桃子av大全在线播放| 国产精品一二三区免费| 狠狠色噜噜狠狠狠狠777| 强制中出し~大桥未久10| 欧美在线观看视频一区二区| 日本一区二区电影在线观看| 99久久国产免费| 国产精品一二三区免费| 欧美一区二区精品久久911| 国产欧美日韩精品一区二区三区| 欧美精品第1页| 国产www亚洲а∨天堂| 中文字幕视频一区二区| 亚洲精品国产精品国自| 国产日产欧美一区| 久久国产欧美一区二区三区免费| 波多野结衣女教师30分钟| 99精品视频一区| 中出乱码av亚洲精品久久天堂| 国产日韩一区二区三区| 又色又爽又大免费区欧美| 欧美在线视频一二三区| 女人被爽到高潮呻吟免费看 | 色婷婷综合久久久中文一区二区| 91精品国产高清一区二区三区| 中文字幕一区二区三区乱码视频 | 亚洲一区精品视频| 日本精品一区视频| 一区二区91| 欧美高清性xxxxhdvideos| 狠狠色狠狠色综合久久第一次 | 97精品国产aⅴ7777| 欧美精品xxxxx| 97精品国产97久久久久久| 中文字幕视频一区二区| 国产午夜精品一区二区三区视频 | 精品国产区| 热99re久久免费视精品频软件| 黄色香港三级三级三级| 国产精品偷伦一区二区| 国产电影精品一区| 国产精品欧美一区二区三区| 国语对白一区二区三区| 制服丝袜二区| 午夜黄色网址|