[發(fā)明專利]一種膜片飛秒激光刻痕方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011301861.5
• 申請日: 2020-11-19
• 公開（公告）號: CN112496561A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李明;江浩
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號: B23K26/364
• 分類號: B23K26/364;B23K26/402
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211
• 代理人: 鄭麗紅

1.一種膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、設(shè)置飛秒激光器的輸出激光波長、功率、重復(fù)頻率，設(shè)置掃描振鏡的掃描速度；

步驟二、按照刻痕槽的深度，將刻痕槽的橫截面等分為n層，獲取每一層線段的長度，按照刻痕形狀和每一層線段的長度設(shè)置每一層的刻痕圖形，共得到n個刻痕圖形；

步驟三、將步驟二獲取的n個刻痕圖形導(dǎo)入掃描振鏡的控制系統(tǒng)中，并在掃描振鏡的控制系統(tǒng)中設(shè)置掃描激光的填充線間距和初始填充角度；

步驟四、裝夾膜片，調(diào)整掃描振鏡以及平場透鏡的位置，使掃描激光焦點作用在膜片表面；

步驟五、開啟飛秒激光器，掃描振鏡依次掃描步驟三導(dǎo)入的n個刻痕圖形，掃描過程中，順時針或逆時針旋轉(zhuǎn)填充線的角度，使得相鄰兩層刻痕圖形的填充線角度不同，同時使得每一層填充線的角度平行于某一條刻痕槽方向；

步驟六、直至導(dǎo)入的n個刻痕圖形加工完成，從而完成膜片刻痕槽的加工。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于：還包括步驟八、將加工好的膜片放入超聲波清洗池中進(jìn)行清洗，使刻痕槽表面光潔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于：步驟三中，填充線間距為0.005mm，初始填充角度為30°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于：步驟五、按照60°順時針或逆時針旋轉(zhuǎn)填充線的角度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于：步驟一、設(shè)置飛秒激光器的輸出激光波長為1030nm、功率為0.5W、重復(fù)頻率為200KHz、掃描振鏡的掃描速度為500mm/s。