[發明專利]一種膜片飛秒激光刻痕方法

在審

• 申請號: 202011301861.5
• 申請日: 2020-11-19
• 公開（公告）號: CN112496561A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 李明;江浩
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: B23K26/364
• 分類號: B23K26/364;B23K26/402
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 鄭麗紅

1.一種膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、設置飛秒激光器的輸出激光波長、功率、重復頻率，設置掃描振鏡的掃描速度；

步驟二、按照刻痕槽的深度，將刻痕槽的橫截面等分為n層，獲取每一層線段的長度，按照刻痕形狀和每一層線段的長度設置每一層的刻痕圖形，共得到n個刻痕圖形；

步驟三、將步驟二獲取的n個刻痕圖形導入掃描振鏡的控制系統中，并在掃描振鏡的控制系統中設置掃描激光的填充線間距和初始填充角度；

步驟四、裝夾膜片，調整掃描振鏡以及平場透鏡的位置，使掃描激光焦點作用在膜片表面；

步驟五、開啟飛秒激光器，掃描振鏡依次掃描步驟三導入的n個刻痕圖形，掃描過程中，順時針或逆時針旋轉填充線的角度，使得相鄰兩層刻痕圖形的填充線角度不同，同時使得每一層填充線的角度平行于某一條刻痕槽方向；

步驟六、直至導入的n個刻痕圖形加工完成，從而完成膜片刻痕槽的加工。

2.根據權利要求1所述的膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于：還包括步驟八、將加工好的膜片放入超聲波清洗池中進行清洗，使刻痕槽表面光潔。

3.根據權利要求2所述的膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于：步驟三中，填充線間距為0.005mm，初始填充角度為30°。

4.根據權利要求1或2或3所述的膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于：步驟五、按照60°順時針或逆時針旋轉填充線的角度。

5.根據權利要求4所述的膜片飛秒激光刻痕方法，其特征在于：步驟一、設置飛秒激光器的輸出激光波長為1030nm、功率為0.5W、重復頻率為200KHz、掃描振鏡的掃描速度為500mm/s。