[發(fā)明專利]一種壓電元件、壓電振動(dòng)器及其制作方法、電子設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011300621.3
• 申請(qǐng)日: 2020-11-18
• 公開（公告）號(hào): CN114583044A
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳右儒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L41/09
• 分類號(hào): H01L41/09;H01L41/047;H01L41/22;H01L41/29
• 代理公司: 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319
• 代理人: 李娜

1.一種壓電元件，其特征在于，包括：第一電極和設(shè)置在所述第一電極上的第二電極，所述第二電極具有暴露出所述第一電極的開口；

所述壓電元件還包括壓電結(jié)構(gòu)，所述壓電結(jié)構(gòu)包括第一壓電部和圍繞所述第一壓電部設(shè)置的第二壓電部，所述第一壓電部設(shè)置在所述開口內(nèi)并與所述第一電極接觸，所述第二壓電部設(shè)置在所述第二電極遠(yuǎn)離所述第一電極的一側(cè)；其中，所述第二壓電部具有取向性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，沿著所述第二壓電部指向所述第一壓電部的方向上，所述第一壓電部的寬度是所述第二壓電部的寬度的10倍至20倍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，所述第一電極的材料為氧化銦錫，所述第二電極的材料為鉑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，在沿著垂直于所述第一電極所在平面的方向上，所述第一電極的厚度為100nm至500nm，所述第二電極的厚度小于100nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，在沿著垂直于所述第一電極所在平面的方向上，所述第一壓電部的厚度大于所述第二電極的厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電元件，其特征在于，在沿著垂直于所述第一電極所在平面的方向上，所述第二電極的厚度與所述第二壓電部的厚度之和等于所述第一壓電部的厚度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，所述第一壓電部和所述第二壓電部的材料均為壓電陶瓷。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的壓電元件，其特征在于，所述壓電元件還包括設(shè)置在所述壓電結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離所述第一電極一側(cè)的第三電極。

9.一種壓電振動(dòng)器，其特征在于，包括襯底以及設(shè)置在所述襯底上的多個(gè)如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的壓電元件。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓電振動(dòng)器，其特征在于，所述壓電振動(dòng)器還包括覆蓋所述襯底和各個(gè)所述壓電元件的絕緣層，所述絕緣層具有與每個(gè)所述壓電元件對(duì)應(yīng)的第一過孔和第二過孔；

所述壓電振動(dòng)器還包括設(shè)置在所述絕緣層遠(yuǎn)離所述壓電元件一側(cè)的走線層，所述走線層包括與每個(gè)所述壓電元件對(duì)應(yīng)的第一信號(hào)線和第二信號(hào)線，每條所述第一信號(hào)線通過所述第一過孔與對(duì)應(yīng)的所述壓電元件中的所述第一電極連接，每條所述第二信號(hào)線通過所述第二過孔與對(duì)應(yīng)的所述壓電元件中的所述第三電極連接。

11.一種壓電振動(dòng)器的制作方法，其特征在于，包括：

在襯底上形成多個(gè)第一電極；

在每個(gè)所述第一電極上形成第二電極；每個(gè)所述第二電極具有暴露出所述第一電極的開口；

在每個(gè)所述第一電極和對(duì)應(yīng)的所述第二電極上形成壓電結(jié)構(gòu)；

其中，所述壓電結(jié)構(gòu)包括第一壓電部和圍繞所述第一壓電部設(shè)置的第二壓電部，所述第一壓電部設(shè)置在所述開口內(nèi)并與所述第一電極接觸，所述第二壓電部設(shè)置在所述第二電極遠(yuǎn)離所述第一電極的一側(cè)；所述第二壓電部具有取向性。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，在所述在每個(gè)所述第一電極和對(duì)應(yīng)的所述第二電極上形成壓電結(jié)構(gòu)的步驟之后，還包括：

在每個(gè)所述壓電結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離所述第一電極的一側(cè)形成第三電極，以得到多個(gè)壓電元件；

形成覆蓋所述襯底和各個(gè)所述壓電元件的絕緣層；所述絕緣層具有與每個(gè)所述壓電元件對(duì)應(yīng)的第一過孔和第二過孔；

在所述絕緣層遠(yuǎn)離所述壓電元件的一側(cè)形成走線層；所述走線層包括與每個(gè)所述壓電元件對(duì)應(yīng)的第一信號(hào)線和第二信號(hào)線，每條所述第一信號(hào)線通過所述第一過孔與對(duì)應(yīng)的所述壓電元件中的所述第一電極連接，每條所述第二信號(hào)線通過所述第二過孔與對(duì)應(yīng)的所述壓電元件中的所述第三電極連接。

13.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求9或10所述的壓電振動(dòng)器。