[發(fā)明專(zhuān)利]顯示面板及其制作方法、顯示裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011297860.8
• 申請(qǐng)日: 2020-11-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112420796B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏晨
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/32
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/32;H01L51/56;H01L27/12
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 張曉薇

1.一種顯示面板，其特征在于，包括顯示區(qū)和與所述顯示區(qū)相鄰的非顯示區(qū)，所述顯示面板包括：

基底層；

功能結(jié)構(gòu)層，設(shè)于所述基底層上，所述功能結(jié)構(gòu)層上設(shè)有至少一位于所述顯示區(qū)內(nèi)的第一深孔以及至少一位于所述非顯示區(qū)內(nèi)的第二深孔，同時(shí)所述功能結(jié)構(gòu)層還包括層疊設(shè)于所述基底層上的有源層、第一絕緣層、第一柵極層、第二絕緣層、第二柵極層以及介電層；

有機(jī)物填充層，包括設(shè)置于所述第一深孔處的第一子填充層和設(shè)置于所述第二深孔處的第二子填充層，所述第一子填充層包括第一平坦部和填充于所述第一深孔內(nèi)的第一延伸部，所述第二子填充層包括第二平坦部和填充于所述第二深孔內(nèi)的第二延伸部；以及

走線(xiàn)層，設(shè)置于所述功能結(jié)構(gòu)層和所述有機(jī)物填充層上，

其中，所述第一平坦部的厚度小于所述第二平坦部的厚度，多個(gè)所述第一子填充層圍繞所述有源層、所述第一柵極層以及所述第二柵極層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯示面板，其特征在于，所述功能結(jié)構(gòu)層中還包括：

源漏極層，設(shè)于所述介電層上，并穿過(guò)所述介電層、所述第二絕緣層和所述第一絕緣層與所述有源層的兩端連接，

其中，所述有機(jī)物填充層設(shè)于所述介電層和所述源漏極層之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯示面板，其特征在于，所述有機(jī)物填充層的材料為聚酰亞胺有機(jī)光阻。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯示面板，其特征在于，所述第一平坦部的厚度的范圍為0.9um-1.1um，所述第二平坦部的厚度的范圍為1.4um-1.6um。

5.一種顯示面板的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供一基底層，所述顯示面板包括顯示區(qū)和與所述顯示區(qū)相鄰的非顯示區(qū)；

在所述基底層上形成功能結(jié)構(gòu)層，所述功能結(jié)構(gòu)層上形成有至少一位于所述顯示區(qū)內(nèi)的第一深孔以及至少一位于所述非顯示區(qū)內(nèi)的第二深孔，同時(shí)還在所述基底層上層疊形成有源層、第一絕緣層、第一柵極層、第二絕緣層、第二柵極層以及介電層；

在所述功能結(jié)構(gòu)層上形成有機(jī)物填充層，所述有機(jī)物填充層包括形成于所述第一深孔處的第一子填充層和形成于所述第二深孔處的第二子填充層，所述第一子填充層包括第一平坦部和填充于所述第一深孔內(nèi)的第一延伸部，所述第二子填充層包括第二平坦部和填充于所述第二深孔內(nèi)的第二延伸部，其中，所述第一平坦部的厚度小于所述第二平坦部的厚度以及

在所述功能結(jié)構(gòu)層和所述有機(jī)物填充層上形成走線(xiàn)層，多個(gè)所述第一子填充層圍繞所述有源層、所述第一柵極層以及所述第二柵極層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述顯示面板的制作方法，其特征在于，在所述基底層上形成功能結(jié)構(gòu)層，還包括以下步驟：

在所述介電層上形成源漏極層，所述源漏極層穿過(guò)所述介電層、所述第二絕緣層和所述第一絕緣層與所述有源層的兩端連接，

其中，所述有機(jī)物填充層設(shè)于所述介電層和所述源漏極層之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述顯示面板的制作方法，其特征在于，所述有機(jī)物填充層采用半色調(diào)掩膜圖案化的方式形成。

8.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的顯示面板。