[發(fā)明專利]一種精密半導(dǎo)體零件加工工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011296912.X
• 申請(qǐng)日: 2020-11-18
• 公開（公告）號(hào): CN112475801B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴進(jìn)生;胡選來(lái);黃盼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富曜半導(dǎo)體（昆山）有限公司;富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)（上海）有限公司
• 主分類號(hào): B23P15/00
• 分類號(hào): B23P15/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種精密半導(dǎo)體零件加工工藝，其特征在于：具體包括如下步驟：

S1、挑選合適的備料，使用鋸床加工成合適大小，得到毛坯料(4)；

S2、將毛坯料(4)送入CNC數(shù)控加工中心，使用虎鉗夾持毛坯料(4)，在毛坯料(4)頂端粗加工出工藝站腳(5)；

S3、翻轉(zhuǎn)毛坯料(4)，使工藝站腳(5)位于毛坯料(4)底端，使用虎鉗夾持工藝站腳(5)；

S4、對(duì)毛坯料(4)進(jìn)行粗加工，得到半成品圓弧板(9)；

S5、對(duì)工件進(jìn)行熱處理，消除應(yīng)力；

S6、使用定位銷與螺栓將工藝站腳(5)固定在專用輔助治具上，此時(shí)半成品圓弧板(9)處于自然狀態(tài)，將工件送入CNC數(shù)控加工中心，一體成型工件外形及特征工位，得到產(chǎn)品零件(1)；

S7、將產(chǎn)品零件(1)裝夾在專用輔助治具上，去除工藝站腳(5)；

S8、對(duì)零件(1)進(jìn)行精加工，得到成品；

所述步驟S4中在粗加工半成品圓弧板(9)時(shí)，需要預(yù)留1.5mm的余量；

所述零件(1)的頂端及側(cè)面邊緣處均做圓角處理，所述零件(1)的上端面開設(shè)有若干凹槽(2)，所述凹槽(2)內(nèi)部鉆有安裝孔(3)；

所述工藝站腳(5)的表面開設(shè)有若干通槽(6)，所述工藝站腳(5)表面開設(shè)有與定位銷相對(duì)應(yīng)的定位孔(7)，以及與螺栓相對(duì)應(yīng)的螺紋孔(8)；

所述步驟S8中零件(1)在精加工后，需要噴涂保護(hù)涂層，具體包括如下步驟：

A、將零件(1)送入超聲波清洗機(jī)中，清洗，烘干；

B、加熱零件(1)；

C、在零件(1)表面均勻噴涂保護(hù)涂層；

D、將零件(1)送入烘箱烘干；

所述保護(hù)涂層按照重量份數(shù)計(jì)包括如下組分：20-40份的聚醚改性環(huán)氧樹脂、1-5份的鈦白粉、1-3份的納米二氧化硅、1-3份的納米二氧化鈦、5-7份的鋯英粉、1-5份的硅藻土、10-20份的聚醋酸聚乙烯、10-20份的聚乙烯醇、20-40份的乙醇、50-90份的水；

所述步驟B中的零件(1)加熱后表面溫度為40-60℃，所述步驟D中的烘干溫度為70-80℃，烘干時(shí)間為10-20min；

所述步驟S8中的精加工具體包括車圓角、磨削、拋光。