[發(fā)明專利]壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011296014.4 | 申請日： | 2020-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN112565949B | 公開（公告）日： | 2023-06-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金文超;孫福河;李佳;聞?dòng)老?/a> | 申請（專利權(quán)）人： | 杭州士蘭集昕微電子有限公司 |
| 主分類號： | H04R1/08 | 分類號： | H04R1/08;H04R9/08;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡純;張靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電 式微 機(jī)電 系統(tǒng) 麥克風(fēng) 及其 制造 方法 | ||
1.一種壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，包括：
襯底，所述襯底中設(shè)有背腔，所述背腔貫穿所述襯底；
支撐氧化層，位于所述襯底上，所述支撐氧化層圍成空腔；
背極板和振膜，所述背極板和所述振膜的邊緣由所述支撐氧化層支撐，所述背極板包括多個(gè)聲孔，所述多個(gè)聲孔、所述空腔和所述背腔連通，所述振膜包括第一部分振膜和第二部分振膜，所述第一部分振膜位于所述空腔中，所述第二部分振膜位于所述支撐氧化層中；
壓電結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)一維壓電納米結(jié)構(gòu)，所述一維壓電納米結(jié)構(gòu)的第一端與所述背極板電連接，第二端與所述第一部分振膜電連接；
其中，位于所述空腔的所述背極板、所述第一部分振膜和所述一維壓電納米結(jié)構(gòu)形成聲壓信號采集結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述壓電結(jié)構(gòu)為所述多個(gè)一維壓電納米結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述多個(gè)一維壓電納米結(jié)構(gòu)在聲壓信號作用下產(chǎn)生電勢差。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述背極板位于所述振膜的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)還包括：
第一電極，位于所述支撐氧化層上，通過所述支撐氧化層的第一開口與所述第二部分振膜電連接；
第二電極，位于所述背極板上，與所述背極板電連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)還包括：
鈍化層，位于所述背極板和所述支撐氧化層上，所述鈍化層包括多個(gè)第二開口，所述第二開口與所述聲孔對應(yīng)設(shè)置，所述鈍化層暴露出所述第一電極和所述第二電極。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述振膜位于所述背極板的上方。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)還包括：
第一電極，位于所述第二部分振膜上，與所述第二部分振膜電連接；
第二電極，位于所述支撐氧化層上，通過所述支撐氧化層的第一開口與所述背極板電連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)還包括：
鈍化層，位于所述支撐氧化層上，覆蓋所述第二部分振膜和所述支撐氧化層的裸露表面，暴露出所述第一部分振膜、所述第一電極和所述第二電極。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述鈍化層還覆蓋所述支撐氧化層的部分側(cè)壁。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述第一部分振膜的尺寸小于所述空腔的尺寸。
12.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述第一部分振膜的尺寸小于所述背腔的尺寸。
13.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述多個(gè)一維壓電納米結(jié)構(gòu)分布在所述第一部分振膜的中心位置。
14.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述多個(gè)一維壓電納米結(jié)構(gòu)分布在所述第一部分振膜的外圍周邊。
15.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述多個(gè)一維壓電納米結(jié)構(gòu)分布在整個(gè)所述第一部分振膜。
16.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，其中，所述一維壓電納米結(jié)構(gòu)的第一端嵌入所述背極板，第二端嵌入所述第一部分振膜。
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