[發明專利]一種基于微波水熱法快速制備超薄外延鐵酸鉍薄膜的方法

有效

• 申請號: 202011293872.3
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112408491B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發明（設計）人: 朱睿健;王增梅;鄒雪雪;李銘;賀顯聰;尹康
• 申請（專利權）人: 南京工程學院
• 主分類號: C01G49/00
• 分類號: C01G49/00
• 代理公司: 南京燦爛知識產權代理有限公司 32356
• 代理人: 吳亞

1.一種基于微波水熱法快速制備超薄外延鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于，通過對襯底進行處理，配制前驅體，通過微波水熱法快速制備超薄外延鐵酸鉍薄膜，具體包括以下步驟：

步驟1、將鈣鈦礦單晶襯底進行氧等離子體清洗活化；

步驟2、取鐵和鉍的鹽，以及強堿配置前驅體懸濁液；

步驟3、將步驟2得到的懸濁液倒入聚四氟反應釜，將活化好的襯底放入反應釜內；

步驟4、將反應釜放入微波水熱合成儀生長薄膜；

步驟5、反應結束，將薄膜取出清洗。

2.根據權利要求1所述的一種基于微波水熱法快速制備超薄外延鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于，步驟1中薄膜的清洗活化方式為氧等離子體處理，時間為10分鐘，射頻功率為100W，頻率為13.56Hz。

3.根據權利要求1所述的一種基于微波水熱法快速制備超薄外延鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于，步驟2中鐵鹽和鉍鹽的量為0.04mol/L，礦化劑強堿的濃度為0.2mol/L。

4.根據權利要求1所述的一種基于微波水熱法快速制備超薄外延鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于，步驟3中襯底放置方式為拋光面朝下，距離反應釜底部高度為4mm，反應釜填充率為30％。

5.根據權利要求1所述的一種基于微波水熱法快速制備超薄外延鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于，步驟4中微波水熱功率為300-400W，反應時間為25分鐘，最終反應溫度為180攝氏度。