[發明專利]一種溫度傳感器

有效

• 申請號: 202011293677.0
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112393819B
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 沈健;葛夢凡;張樹斌;李朝陽
• 申請（專利權）人: 海南大學
• 主分類號: G01K11/32
• 分類號: G01K11/32
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 薛嬌

1.一種溫度傳感器，其特征在于，包括：光源、耦合器、回音壁諧振腔、以及光譜檢測器；

其中，所述回音壁諧振腔為體積隨溫度變化的熱敏材質諧振腔，用于對入射至所述回音壁諧振腔內的光線進行共振疊加形成共振光波；

所述耦合器用于將所述光源的光線耦入所述回音壁諧振腔且將所述回音壁諧振腔中的共振光波耦出并輸入至所述光譜檢測器；

所述光譜檢測器用于檢測所述共振光波的共振波峰波長；

所述耦合器為光纖耦合器，所述光纖耦合器為一端具有楔形斜端面的光纖；

所述回音壁諧振腔設置在所述光纖耦合器具有所述楔形斜端面的一端，所述光源和所述光譜檢測器設置在所述光纖耦合器背離所述回音壁諧振腔的一端；

所述光纖耦合器通過所述楔形斜端面將所述光源入射至所述光纖耦合器中的光線耦入所述回音壁諧振腔，且通過所述楔形斜端面將所述共振光波從所述回音壁諧振腔耦出并耦入所述光纖耦合器，并通過所述光纖耦合器輸入至所述光譜檢測器；

所述光纖耦合器的帶有楔形斜端面的一端的端面包括斜平面和豎直平面，所述豎直平面為和所述光纖耦合器的長度方向垂直的表面，且所述豎直平面上設置有反光膜層。

2.如權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，所述反光膜層為氮化硅膜層。

3.如權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，所述楔形斜端面和所述光纖耦合器長度方向的夾角為0度～15度或75度～90度。

4.如權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，所述回音壁諧振腔的外表面和所述光纖耦合器的楔形斜端面的最小間距為0.5微米至1微米。

5.如權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，所述回音壁諧振腔為PDMS實心球或PDMS實心圓盤。

6.如權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，所述回音壁諧振腔的外表面設置有反光膜層，且所述回音壁諧振腔和所述耦合器相耦合的位置表面不設置反光膜層。

7.如權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，所述回音壁諧振腔的半徑為200微米至250微米。