[發(fā)明專利]一種用于離子源的控溫模塊、控溫系統(tǒng)及離子源裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011291927.7
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112509905B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁震;李志燕
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院化學(xué)研究所
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04;H01J49/16
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245
• 代理人: 劉小娟

1.一種離子源控溫模塊，其特征在于，所述控溫模塊包括：

一級冷卻通道，所述一級冷卻通道內(nèi)輸入低溫氣體，用于對控溫模塊本體通過低溫氣體冷卻降溫；

二級冷卻通道，其經(jīng)過所述控溫模塊，用于流經(jīng)二級冷卻氣體，該二級冷卻氣體流入時為常溫氣體，經(jīng)與所述控溫模塊本體換熱后被冷卻；

控溫模塊本體，用于對離子源輸送所述二級冷卻氣體，以對離子源的輸出口進(jìn)行霧化；

所述一級冷卻通道包括一級冷卻氣入口、一級冷卻氣出口和第一冷卻通道，所述一級冷卻氣入口和一級冷卻氣出口設(shè)于所述第一冷卻通道的兩端；

所述二級冷卻通道包括二級冷卻氣入口、二級冷卻氣出口和第二冷卻通道，所述二級冷卻氣入口和二級冷卻氣出口設(shè)于所述第二冷卻通道的兩端，所述第二冷卻通道包括相連的多個折線形或循環(huán)通道，該多個折線形或循環(huán)通道分布于所述控溫模塊本體的內(nèi)部最大橫截面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子源控溫模塊，其特征在于，所述第一冷卻通道設(shè)于所述控溫模塊本體內(nèi)部，所述第一冷卻通道呈直線形或折線形。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的離子源控溫模塊，其特征在于，所述一級冷卻通道還包括附加模塊，所述附加模塊與所述控溫模塊本體疊放設(shè)置，所述附加模塊包括一級支線通道，所述一級冷卻氣入口、一級冷卻氣出口分別經(jīng)所述支線通道與所述第一冷卻通道連通；所述附加模塊與所述控溫模塊本體之間的連接處設(shè)有密封元件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的離子源控溫模塊，其特征在于，所述離子源控溫模塊還包括加熱組件，用于對控溫模塊本體進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，所述加熱組件包括加熱器和溫度計，所述加熱器伸入所述控溫模塊本體內(nèi)，所述溫度計的測溫頭設(shè)于所述二級冷卻通道的輸出口處。

5.一種控溫系統(tǒng)，其特征在于，包括低溫氣體通道和權(quán)利要求1至4任一項所述的離子源控溫模塊，所述低溫氣體通道用于對離子冷卻通道降溫，所述低溫氣體通道與所述離子源控溫模塊能夠單獨設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的控溫系統(tǒng)，其特征在于，所述低溫氣體通道穿過包括有所述離子冷卻通道的低溫通道模塊；所述控溫系統(tǒng)還包括第二加熱組件和控溫儀，該第二加熱組件包括第二加熱器和第二溫度計，該第二加熱器和第二溫度計與所述離子冷卻通道相鄰設(shè)置，所述控溫儀根據(jù)所述第二加熱組件采集的溫度信息對溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)；所述一級冷卻通道內(nèi)輸入低溫氣體，所述二級冷卻通道內(nèi)輸入常溫氣體。

7.一種離子源裝置，其特征在于，所述離子源裝置包括離子源主體模塊、離子冷卻通道和權(quán)利要求5或6所述的控溫系統(tǒng)，所述離子源主體模塊包括樣品通道和冷噴霧通道，所述冷噴霧通道的出口朝向所述樣品通道的離子出口，所述控溫系統(tǒng)的二級冷卻通道的輸出口連通所述冷噴霧通道，所述離子冷卻通道的入口對準(zhǔn)所述離子源主體模塊的樣品通道的離子出口。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的離子源裝置，其特征在于，所述離子源裝置還包括低溫通道模塊，所述離子冷卻通道設(shè)于低溫通道模塊內(nèi)，所述低溫通道模塊在所述離子冷卻通道的入口端的外形呈錐形，其中在入口處為小徑端。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的離子源裝置，其特征在于，所述樣品通道包括相連的導(dǎo)電變徑二通管和毛細(xì)管，所述導(dǎo)電變徑二通管設(shè)有樣品入口，所述毛細(xì)管設(shè)有離子出口，所述冷噴霧通道的出口的口徑大于所述毛細(xì)管的離子出口口徑；所述導(dǎo)電變徑二通管和毛細(xì)管均為不銹鋼。

10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的離子源裝置，其特征在于，所述離子源主體模塊還包括高壓保護(hù)蓋和高壓電極片，所述高壓保護(hù)蓋將所述高壓電極片與導(dǎo)電變徑二通管壓疊在一起，并將處于高壓電狀態(tài)的所述高壓電極片與導(dǎo)電變徑二通管的部分全部覆蓋，所述導(dǎo)電變徑二通管以連接高壓電纜；所述離子源主體模塊還包括固定架，用于固定所述離子冷卻通道。