[發(fā)明專利]力反饋致動器和微機(jī)電系統(tǒng)電容換能器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011291572.1 | 申請日： | 2020-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN112954558A | 公開（公告）日： | 2021-06-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | M·納瓦扎;S·C·湯普森;M·佩德森;P·洛佩特;Z·斯比亞 | 申請（專利權(quán)）人： | 樓氏電子（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04;H04R19/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 王青芝;王小東 |
| 地址： | 215131 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 反饋 致動器 微機(jī) 系統(tǒng) 電容 換能器 | ||
1.一種力反饋致動器，所述力反饋致動器包括：
一對電極，所述一對電極彼此間隔開以形成間隙；以及
介電構(gòu)件，所述介電構(gòu)件至少部分地設(shè)置在所述間隙內(nèi)，所述介電構(gòu)件包括具有第一介電常數(shù)的第一部分和具有第二介電常數(shù)的第二部分，所述介電構(gòu)件和所述一對電極被構(gòu)造成相對于彼此移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述第二部分至少部分地設(shè)置在所述第一部分內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述介電構(gòu)件的介電常數(shù)在與所述介電構(gòu)件和所述一對電極之間相對移動的方向垂直的方向上變化，或沿著所述介電構(gòu)件與所述一對電極之間相對移動的方向變化。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述一對電極是被布置成梳狀的多對電極中的一對電極，并且其中，所述介電構(gòu)件是插設(shè)在所述多對電極中的所述一對電極之間的多個介電構(gòu)件中的一個介電構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述第一部分由氮化硅材料制成，并且其中，所述第二部分由多晶硅材料制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，當(dāng)在穿過所述一對電極和所述介電構(gòu)件的橫截面中觀察時，所述第二部分在至少三面上被所述第一部分包圍。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述介電構(gòu)件的高度在3μm至10μm之間的范圍內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述介電構(gòu)件的寬度在1μm至3μm之間的范圍內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述第一部分的厚度在100nm至300nm之間的范圍內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述第一部分與所述一對電極中的一個電極之間的間隙的寬度在100nm至300nm之間的范圍內(nèi)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力反饋致動器，其中，所述力反饋致動器形成微機(jī)電系統(tǒng)換能器的一部分。
12.一種微機(jī)電系統(tǒng)電容換能器，述微機(jī)電系統(tǒng)電容換能器包括：
腔室；
第一電極，所述第一電極設(shè)置在所述腔室中；
第二電極，所述第二電極設(shè)置在所述腔室中并且與所述第一電極間隔開，所述第一電極與所述第二電極電隔離；
介電構(gòu)件，所述介電構(gòu)件設(shè)置在所述腔室中，根據(jù)所述介電構(gòu)件與所述第一電極和所述第二電極之間的相對移動的程度，所述介電構(gòu)件至少部分地位于所述第一電極與所述第二電極之間，
所述介電構(gòu)件包括具有第一介電常數(shù)的第一部分和具有第二介電常數(shù)的第二部分。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)電容換能器，其中，當(dāng)在所述第一電極與所述第二電極之間施加電場時，與不具有介電常數(shù)不同的部分的介電構(gòu)件相比，包括具有所述第一介電常數(shù)的所述第一部分和具有所述第二介電常數(shù)的所述第二部分的介電構(gòu)件在該介電構(gòu)件與所述第一電極和所述第二電極之間的更大的相對移動范圍內(nèi)提供相對恒定的恢復(fù)靜電力。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)電容換能器，其中，施加在所述第一電極與所述第二電極之間的電場提供恢復(fù)靜電力，所述恢復(fù)靜電力抵消由機(jī)械力引起的所述介電構(gòu)件與所述第一電極和所述第二電極之間的相對移動。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)電容換能器，其中，所述介電構(gòu)件包括具有如下特點(diǎn)的介電常數(shù)：所述第一部分與所述第二部分之間的介電常數(shù)的離散變化垂直于所述介電構(gòu)件與所述第一電極和所述第二電極之間的相對移動的方向或沿著所述介電構(gòu)件與所述第一電極和所述第二電極之間的相對移動的方向。
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