[發明專利]一種基于邁克爾遜干涉原理的高精度測量儀

在審

• 申請號: 202011289809.2
• 申請日: 2020-11-17
• 公開（公告）號: CN112697038A
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 戴志平
• 申請（專利權）人: 衡陽師范學院
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/26
• 代理公司: 廣東有知貓知識產權代理有限公司 44681
• 代理人: 李志海

本發明涉及一種測量儀，公開了一種基于邁克爾遜干涉原理的高精度測量儀，包括底座，所述底座左端上表面連接有固定塊，固定塊上連接有液壓缸，液壓缸頂端設置有升降桿，升降桿頂端連接有固定臺，固定臺上連接有固定圈，固定圈內設置有激光發生器，所述底座右側上表面連接有支撐柱，支撐柱頂端連接有上平臺，所述上平臺中間位置設置有分光片，分光片后方設置有平面鏡A，所述上平臺右側設置有旋轉臺，旋轉臺通過連接桿連接有設置在上平臺內部的齒輪A，齒輪A一側設置有齒輪B，齒輪B下表面連接有旋鈕。本發明通過邁克爾遜干涉原理對物體的平行度進行測量，由于邁克爾遜干涉實驗精度較高，因此可實現對物體的平行度高精度測量。

技術領域

本發明涉及一種測量儀，具體是一種基于邁克爾遜干涉原理的高精度測量儀。

背景技術

隨著科技技術及制造業的發展，對使用的設備或裝置的精度要求越來越高，兩物體的輪廓面要素間的空間平行度是其設備或裝置精度的重要指標之一。現有平行度的測量儀器有量塊、游標卡尺、紅外線測量儀等，但只能測量處于同一平面內的要素間的平行度，對于兩要素的空間平行度只能通過經驗或推算獲得。

中國專利(公告號：CN210512965U)公布了一種平行度測量儀，包括底座在所述底座上端面的一側固定安裝有一立柱，該立柱與底座垂直設置，所述的夾表座整體呈Z型設置，該夾表座的一端形成下U型槽，所述夾表座在該下U型槽處通過下調節機構與立柱動配合，另一端形成上U型槽，所述夾表座在該上U型槽處通過上調節機構與所述的百分表的檢測桿動配合，所述的底座上設置有與百分表的相對應的通孔。該裝置通過將待測物進行夾緊固定后直接通過百分表對物體的平行度進行測量，測量精度較低。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基于邁克爾遜干涉原理的高精度測量儀，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種基于邁克爾遜干涉原理的高精度測量儀，包括底座，所述底座左端上表面連接有固定塊，固定塊上連接有液壓缸，液壓缸頂端設置有升降桿，升降桿頂端連接有固定臺，固定臺上連接有固定圈，固定圈內設置有激光發生器，所述底座右側上表面連接有支撐柱，支撐柱頂端連接有上平臺，所述上平臺中間位置設置有分光片，分光片后方設置有支撐座，支撐座上設置有平面鏡A，所述上平臺右側設置有旋轉臺，旋轉臺通過連接桿連接有設置在上平臺內部的齒輪A，齒輪A一側設置有齒輪B，齒輪B下表面連接有旋鈕。

作為本發明進一步的方案：所述齒輪A與齒輪B相互嚙合，但齒輪A直徑較大，齒數較多，齒輪B直徑較小，齒數較少。

作為本發明進一步的方案：所述旋轉臺上表面連接有固定桿，所述固定桿左側連接有平面鏡B，固定桿右側連接有連桿，連桿兩端設置有螺柱，螺柱左端固定連接有夾塊，螺柱右端螺栓連接有螺母。

作為本發明進一步的方案：所述固定圈上設置有緊固螺栓。

作為本發明進一步的方案：所述旋轉臺上設置有角度刻度尺。

作為本發明進一步的方案：所述分光板右側平行設置有光補償板。

作為本發明再進一步的方案：所述分光板前方設置有觀測鏡。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：本發明通過邁克爾遜干涉原理對物體的平行度進行測量，由于邁克爾遜干涉實驗精度較高，因此可實現對物體的平行度高精度測量，且本裝置操作簡單，使用方便。

附圖說明

圖1為本發明中一種基于邁克爾遜干涉原理的高精度測量儀的結構示意圖。

圖2為本發明中一種基于邁克爾遜干涉原理的高精度測量儀的俯視圖。

圖3為本發明中一種基于邁克爾遜干涉原理的高精度測量儀中旋轉臺的結構示意圖。