[發明專利]永磁裝置和磁控濺射設備

在審

• 申請號: 202011289452.8
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112117080A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 潘學勤;宋維聰;周云
• 申請（專利權）人: 陛通半導體設備（蘇州）有限公司
• 主分類號: H01F7/02
• 分類號: H01F7/02;C23C14/35;H01L21/67
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 馮潔

1.一種永磁裝置，其特征在于，包括永磁組件、調節板、殼體、第一驅動機構和第二驅動機構，

所述永磁組件設置于所述殼體的內部，所述第一驅動機構穿過所述殼體與所述永磁組件傳動連接，用于驅動所述永磁組件轉動，以形成旋轉磁場，且所述第一驅動機構設置于所述調節板；

所述第二驅動機構包括至少兩組第二驅動組件，至少兩組所述第二驅動組件均固定設置于所述殼體的外部，且至少兩組所述第二驅動組件均通過所述調節板與所述第一驅動機構傳動連接，并共同用于驅動所述調節板運動，以調節所述調節板相對于水平面的夾角角度，并利用所述調節板帶動所述第一驅動機構運動，以調節所述永磁組件相對于所述水平面的夾角角度；

其中，所述第二驅動組件包括電機和螺桿，所述電機固定設置于所述殼體，所述電機的輸出軸與所述螺桿傳動連接，所述調節板開設有安裝孔，所述安裝孔內設置有軸承，所述軸承的外環與所述調節板固定連接，所述軸承的內環能夠相對于所述外環自轉，所述第二驅動組件還包括具有內螺紋的連接環，所述連接環嵌設于所述內環內，且與所述內環同軸固定連接，所述螺桿與所述連接環螺紋連接；當所述電機的輸出軸驅動所述螺桿繞自身的軸線轉動時，能夠驅動所述連接環和所述內環同步繞所述螺桿轉動并沿所述螺桿的軸線方向移動，以帶動所述調節板沿所述螺桿的軸線方向移動。

2.根據權利要求1所述的永磁裝置，其特征在于，所述第二驅動機構包括三組所述第二驅動組件，三組所述第二驅動組件呈三角分布。

3.根據權利要求1所述的永磁裝置，其特征在于，所述第二驅動組件還包括第一固定架和第二固定架，所述第一固定架與所述殼體固定連接，所述第一固定架朝向所述殼體的一側具有容納腔，所述第二固定架與所述第一固定架連接，且位于所述容納腔內，所述電機設置于所述第二固定架。

4.根據權利要求3所述的永磁裝置，其特征在于，所述第一固定架包括固定板和多個支撐件，多個所述支撐件的第一端均與殼體固定連接，多個所述支撐件的第二端均與所述固定板固定連接，多個所述支撐件和所述固定板之間共同圍成所述容納腔，所述固定板開設有第一通孔，所述第二固定架與所述固定板朝向所述殼體的一側固定連接，所述螺桿穿設于所述第一通孔。

5.根據權利要求1所述的永磁裝置，其特征在于，所述第一驅動機構包括第一驅動組件、驅動軸和保護管，所述調節板開設有第二通孔，所述永磁裝置還包括殼體，所述永磁組件設置于所述殼體的內部，所述殼體開設有第三通孔，所述驅動軸穿設于所述第二通孔和所述第三通孔，所述第一驅動組件設置于所述調節板，且通過所述驅動軸與所述永磁組件傳動連接，用于驅動所述驅動軸帶動所述永磁組件轉動，以形成旋轉磁場；所述保護管的兩端分別與所述調節板和所述殼體固定連接，且套設于所述驅動軸的外部，所述保護管為柔性軟管。

6.一種磁控濺射設備，其特征在于，包括權利要求1-5任一項所述的永磁裝置。