[發明專利]基板的弧度檢測方法及其系統

在審

• 申請號: 202011289440.5
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112378322A
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 章恒鏢
• 申請（專利權）人: 杭州骉昇科技有限公司
• 主分類號: G01B5/207
• 分類號: G01B5/207
• 代理公司: 杭州萬合知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 33294
• 代理人: 丁海華

1.基板的弧度檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：在定位板上固定多個千分表感應器，在定位板上設置載物臺，載物臺上設有多個通槽，千分表感應器的表頭穿過通槽向上伸出；

S2：對基板表面進行清洗和擦拭，去除掉基板表面的污物；

S3：將待檢測的基板置于載物臺上，并且兩側的限位塊對其有效的限位，基板的底面與多個千分表感應器的感應表頭充分接觸；

S4：基板向下壓千分表感應器的千分表頭，千分表頭受力往回收縮，千分表感應器感應到收縮量，并將該數據傳輸給計算機；

S5：計算機收集到基板表面不同位置處的收縮量數據，通過算法對檢測到的收縮量數據進行處理，計算機通過設定的公式計算出基板表面多個方向上指定三點的高度差，計算機將所得處的高度差值與標準范圍進行比較，如在標準范圍內，其數值則顯示為淡綠色，大于標準上限顯示淡紫色，小于標準范圍顯示淡紅色，最終得到基板的變形弧度檢測結果，系統根據檢測結構提示基板合格或者不合格。

2.根據權利要求1所述的基板的弧度檢測方法，其特征在于：在定位板上固定九個千分表感應器，九個千分表感應器呈3X3陣列設置；基板的底面與九個千分表感應器的感應表頭充分接觸，每3個千分表感應器呈一列且檢測到該列上的收縮量數據，再將這些收縮量數據傳輸至計算機，通過算法得到基板的弧度檢測結果。

3.基板的弧度檢測系統，其特征在于：包括支撐柱（1），支撐柱（1）上設有定位板（2），定位板（2）上設有多個連接柱（3），連接柱（3）上設有載物臺（4）；所述的定位板（2）下側部設有多個千分表感應器（5），千分表感應器（5）上設有千分表頭（6），千分表頭（6）穿過定位板（2）設置在定位板（2）的上側面上；所述的載物臺（4）上設有多個通槽（7），千分表頭（6）穿設在通槽（7）內，載物臺（4）的上部兩側設有定位塊（8），支撐柱（1）的一側設有計算機（9），計算機（9）與千分表感應器（5）相連接。

4.根據權利要求3所述的基板的弧度檢測系統，其特征在于：所述的千分表感應器（5）共有9個。

5.根據權利要求3所述的基板的弧度檢測系統，其特征在于：所述的千分表頭（6）由固定套筒（601）和千分表探頭（602）組成。

6.根據權利要求3所述的基板的弧度檢測系統，其特征在于：所述的計算機（9）包括對數據的處理模塊和圖像成形的模塊。

7.根據權利要求3所述的基板的弧度檢測系統，其特征在于：所述的通槽（7）共有9組，且呈3X3方陣布置。