[發(fā)明專利]一種晶圓片自動定位顯影裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011284139.5
• 申請日: 2020-11-17
• 公開（公告）號: CN112198772A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁波;李軼;陳瀚;趙耀;陳登奎;杭海燕
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微世半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 上海遠同律師事務(wù)所 31307
• 代理人: 張堅

1.一種晶圓片自動定位顯影裝置，包括上料機構(gòu)(200)、下料機構(gòu)(400)以及位于所述上料機構(gòu)(200)與下料機構(gòu)(400)間的顯影機構(gòu)(300)，所述顯影機構(gòu)(300)包括離心筒(320)、設(shè)于所述離心筒(320)中的能夠進行升降的旋轉(zhuǎn)吸頭(330)以及位于所述離心筒(320)上方的噴淋裝置(350)，所述上料機構(gòu)(200)能夠?qū)⒕A片轉(zhuǎn)移至所述旋轉(zhuǎn)吸頭(330)上，所述下料機構(gòu)(400)能夠取走位于所述旋轉(zhuǎn)吸頭(330)上的晶圓片，其特征在于：還包括位于離心筒(320)上方的對位裝置(360)，所述對位裝置(360)包括兩個能夠相向移動的對中卡爪(363)，所述兩個對中卡爪(363)對稱布置于所述旋轉(zhuǎn)吸頭(330)中軸線的兩側(cè)，所述對中卡爪(363)的內(nèi)側(cè)具有適配所述晶圓片邊緣的頂塊(364)。

2.按照權(quán)利要求1所述的晶圓片自動定位顯影裝置，其特征在于：所述上料機構(gòu)(200)包括第一導(dǎo)軌(210)、設(shè)于所述第一導(dǎo)軌(210)上的第一滑塊(211)，設(shè)于所述第一滑塊(211)上的取料機構(gòu)(220)和設(shè)于所述第一導(dǎo)軌(210)旁的第一儲料機構(gòu)(230)，所述下料機構(gòu)(400)包括第二導(dǎo)軌(410)、設(shè)于所述第二導(dǎo)軌(410)上的第二滑塊(411)、設(shè)于所述第二滑塊(411)上的送料機構(gòu)(420)和設(shè)于所述送料機構(gòu)(420)旁的第二儲料機構(gòu)(430)，所述第一導(dǎo)軌(210)、第一儲料機構(gòu)(230)、第二導(dǎo)軌(410)、第二儲料機構(gòu)(430)將所述顯影機構(gòu)(300)合圍于其中。

3.按照權(quán)利要求2所述的晶圓片自動定位顯影裝置，其特征在于：所述取料機構(gòu)(220)和送料機構(gòu)(420)的結(jié)構(gòu)一致，包括連接所述第一滑塊(211)或第二滑塊(411)的底板(500)、與所述底板(500)滑動連接的運動上板(530)、與所述運動上板(530)滑動連接的運動滑臺(540)、設(shè)于所述運動滑臺(540)上的料叉(550)，所述運動上板(530)能夠相對底板(500)向前伸出，所述運動滑臺(540)能夠相對所述運動上板(530)向前伸出。

4.按照權(quán)利要求3所述的晶圓片自動定位顯影裝置，其特征在于：還包括設(shè)于底板(500)上的皮帶驅(qū)動輪組(560)和設(shè)于運動上板(530)上的皮帶聯(lián)動輪組(570)，所述皮帶驅(qū)動輪組(560)包括主動輪(561)、從動輪(562)、連接所述主動輪(561)的電機(563)和繞設(shè)在所述主動輪(561)和從動輪(562)上的第一皮帶(564)，所述皮帶聯(lián)動輪組(570)包括第一皮帶輪(571)、第二皮帶輪(572)與繞設(shè)在所述第一皮帶輪(571)和第二皮帶輪(572)上的第二皮帶(573)，所述運動上板(530)上設(shè)有夾住第一皮帶(564)上傳動段的第一夾緊片(533)，所述底板(500)上設(shè)有連接第二皮帶(573)下傳動段的連接片(501)，所述運動滑臺(540)上設(shè)有夾住所述第二皮帶(573)上傳動段的第二夾緊片(541)。

5.按照權(quán)利要求4所述的晶圓片自動定位顯影裝置，其特征在于：所述第一儲料機構(gòu)(230)和第二儲料機構(gòu)(430)的結(jié)構(gòu)一致，包括豎向?qū)к?231)、設(shè)于所述豎向?qū)к?231)上的滑塊(232)和連接所述滑塊(232)的放置架(233)，所述放置架(233)面朝所述料叉(550)的一端具有敞口，所述放置架(233)兩側(cè)的內(nèi)壁上間隔布置有多道用于放置晶圓片的隔板(234)。

6.按照權(quán)利要求1所述的晶圓片自動定位顯影裝置，其特征在于：所述噴淋裝置(350)包括位于所述離心筒(320)旁的橫向?qū)к?351)、設(shè)于所述橫向?qū)к?351)上的滑座(352)、連接所述滑座(352)的噴淋支架(353)以及設(shè)于所述噴淋支架(353)一端的噴淋頭(354)，所述噴淋頭(354)位于所述離心筒(320)的上方。