[發(fā)明專利]一種微小型空間反射結(jié)構(gòu)的制備裝置、制備方法及產(chǎn)品

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011281818.7
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN112363313B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 桂珍珍;龔小競;陳震林;舒承有;張建輝;王夏天;沈騰;解志華
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州大學(xué)
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81C1/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文;郝傳鑫

本發(fā)明公開了一種微小型空間反射結(jié)構(gòu)的制備裝置、制備方法及產(chǎn)品，該制備方法包括：根據(jù)待制備微小型空間反射結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)特征，制備對應(yīng)的網(wǎng)狀板和基底，并選擇相匹配的光敏材料；將網(wǎng)狀板放置于所述基底上方后，將光敏材料分別加入網(wǎng)狀板的各個網(wǎng)孔中；啟動光照組件按照預(yù)設(shè)的光照時間對網(wǎng)狀板施加光照，對網(wǎng)孔中的光敏材料進(jìn)行固化以形成微小型空間反射結(jié)構(gòu)。本發(fā)明通過光固化技術(shù)完成微小型空間反射結(jié)構(gòu)的制備，能夠?yàn)槲⑿⌒涂臻g反射結(jié)構(gòu)的制備減小成本，解決空間反射結(jié)構(gòu)制備的困難，將空間反射結(jié)構(gòu)的制備納入基本實(shí)驗(yàn)工藝范疇，為微小型光學(xué)反射結(jié)構(gòu)的制造提供的了關(guān)鍵技術(shù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)反射結(jié)構(gòu)加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微小型空間反射結(jié)構(gòu)的制備裝置、制備方法及產(chǎn)品。

背景技術(shù)

隨著微機(jī)械的發(fā)展，微小型系統(tǒng)的研究越發(fā)深入，微小型零部件制造的重要性日漸突出。在光學(xué)領(lǐng)域中對微小型反射結(jié)構(gòu)的制造極為精密，加工制造難度高，成本高，周期長，不利于微小型光學(xué)系統(tǒng)的推廣和發(fā)展。同時，對于該類結(jié)構(gòu)的加工需要用到精密儀器多，并不利于實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部的加工使用。

因此，急需要一種能夠降低現(xiàn)有技術(shù)的加工難度且能夠縮短制備時間、降低制備成本的微小型反射結(jié)構(gòu)的加工方式，以滿足現(xiàn)有光學(xué)領(lǐng)域的需求。

需要注意的是，本部分旨在為權(quán)利要求書中陳述的本公開的實(shí)施方式提供背景或上下文。此處的描述不因?yàn)榘ㄔ诒静糠种芯统姓J(rèn)是現(xiàn)有技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種微小型空間反射結(jié)構(gòu)的制備裝置、制備方法及產(chǎn)品，以解決現(xiàn)有技術(shù)中對微小型反射結(jié)構(gòu)的制造極為精密、加工制造難度高、成本高、周期長從而不利于微小型光學(xué)系統(tǒng)的推廣和發(fā)展的問題。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種微小型空間反射結(jié)構(gòu)的制備裝置，包括：

光敏材料；

網(wǎng)狀板，其具有陣列式排布的多個微米級或毫米級的網(wǎng)孔，所述網(wǎng)孔用于容納所述光敏材料；

基底，其設(shè)置在所述網(wǎng)狀板下方，用于承載所述網(wǎng)狀板；

光照組件，其設(shè)置在所述網(wǎng)狀板上方，用于向所述網(wǎng)狀板施加光照對所述網(wǎng)孔中的光敏材料進(jìn)行固化以形成微小型空間反射結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明第一方面的優(yōu)選方式，所述網(wǎng)狀板為平面網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)，其由不與所述光敏材料發(fā)生反應(yīng)且粗糙度低的金屬材料制成。

作為本發(fā)明第一方面的優(yōu)選方式，所述基底為平面板狀結(jié)構(gòu)，其由表面光滑的材料制成。

作為本發(fā)明第一方面的優(yōu)選方式，若所述網(wǎng)狀板上設(shè)置有微米級的網(wǎng)孔時，還包括刮板，用于將添加到所述網(wǎng)狀板上方的所述光敏材料通過刮涂方式擠壓到各個網(wǎng)孔中；

若所述網(wǎng)狀板上設(shè)置有毫米級的網(wǎng)孔時，還包括滴液管，用于將所述光敏材料分別滴加到所述網(wǎng)狀板上的各個網(wǎng)孔中。

第二方面，本發(fā)明提供一種微小型空間反射結(jié)構(gòu)的制備方法，包括：

根據(jù)待制備微小型空間反射結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)特征，制備對應(yīng)的網(wǎng)狀板和基底，并選擇相匹配的光敏材料；

將所述網(wǎng)狀板放置于所述基底上方后，將所述光敏材料分別加入所述網(wǎng)狀板的各個網(wǎng)孔中；

啟動光照組件按照預(yù)設(shè)的光照時間對所述網(wǎng)狀板施加光照，對所述網(wǎng)孔中的光敏材料進(jìn)行固化以形成微小型空間反射結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明第二方面的優(yōu)選方式，所述光敏材料的接觸角根據(jù)所述微小型空間反射結(jié)構(gòu)的曲率計算得到，具體計算公式如下：

其中，k為所述微小型空間反射結(jié)構(gòu)的曲率，θ為所述光敏材料的接觸角，r為所述網(wǎng)狀板上網(wǎng)孔的內(nèi)切圓的半徑。