[發明專利]可拆式粉末原子層沉積裝置

在審

• 申請號: 202011281747.0
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN112609169A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 林俊成;張容華;古家誠
• 申請（專利權）人: 鑫天虹(廈門)科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;B82Y30/00;B82Y40/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

本發明提供一種可拆式粉末原子層沉積裝置，主要包括一真空腔體、一軸封裝置及一驅動單元，其中驅動單元連接軸封裝置，而真空腔體透過至少一連接單元鎖固在軸封裝置的一端。驅動單元透過軸封裝置帶動真空腔體轉動，以攪拌真空腔體的一反應空間內的粉末，以利于在粉末的表面形成厚度均勻的薄膜。此外完成原子層沉積的真空腔體可由軸封裝置上卸下，以方便使用者將粉末由真空腔體取出，并清潔真空腔體，以提高使用時的便利性。

技術領域

本發明有關于一種可拆式粉末原子層沉積裝置，方便使用者將粉末由真空腔體取出，并清潔真空腔體，以提高使用時的便利性。

背景技術

奈米顆粒(nanoparticle)一般被定義為在至少一個維度上小于100奈米的顆粒，奈米顆粒與宏觀物質在物理及化學上的特性截然不同。一般而言，宏觀物質的物理特性與本身的尺寸無關，但奈米顆粒則非如此，奈米顆粒在生物醫學、光學和電子等領域都具有潛在的應用。

量子點(Quantum Dot)是半導體材料的奈米顆粒，目前研究的半導體材料為II-VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到矚目。量子點的尺寸通常在2至50奈米之間，量子點被紫外線照射后，量子點中的電子會吸收能量，并從價帶躍遷到傳導帶。被激發的電子從傳導帶回到價帶時，會通過發光釋放出能量。

量子點的能隙與尺寸大小相關，量子點的尺寸越大能隙越小，經照射后會發出波長較長的光，量子點的尺寸越小則能隙越大，經照射后會發出波長較短的光。例如5到6奈米的量子點會發出橘光或紅光，而2到3奈米的量子點則會發出藍光或綠光，當然光色還需取決于量子點的材料組成。

應用量子點的發光二極體(LED)產生的光接近連續光譜，同時具有高演色性，并有利于提高發光二極體的發光品質。此外亦可透過改變量子點的尺寸調整發射光的波長，使得量子點成為新一代發光裝置及顯示器的發展重點。

量子點雖然具有上述的優點及特性，但在應用或制造的過程中容易產生團聚現象。此外量子點具有較高的表面活性，并容易與空氣及水氣發生反應，進而縮短量子點的壽命。

具體來說，將量子點制作成為發光二極體的密封膠時，可能會產生團聚效應，而降低量子點的光學性能。此外，量子點在制作成發光二極體的密封膠后，外界的氧或水氣仍可能會穿過密封膠而接觸量子點的表面，導致量子點氧化，并影響量子點及發光二極體的效能或使用壽命。量子點表面的缺陷及懸空鍵(dangling bonds)亦可能造成非輻射復合(non-radiative recombination)，同樣會影響量子點的發光效率。

目前業界主要透過原子層沉積(atomic layer deposition，ALD)在量子點的表面形成一層奈米厚度的薄膜，或者是在量子點的表面形成多層薄膜，以形成量子井結構。

原子層沉積可以在基板上形成厚度均勻的薄膜，并可有效控制薄膜的厚度，理論上亦適用于三維的量子點。量子點靜置在承載盤時，相鄰的量子點之間會存在接觸點，使得原子層沉積的前驅物氣體無法接觸這些接觸點，并導致無法在所有的奈米顆粒的表面皆形成厚度均勻的薄膜。

發明內容

一般而言，原子層沉積通常需要在真空環境下進行，因此原子層沉積裝置的構造往往較為厚實，并具有一定的重量，不利于使用者搬運及操作。為了解決上述先前技術的問題，本發明提出一種可拆式粉末原子層沉積裝置，在完成粉末的原子層沉積制程后，可將真空腔體由軸封裝置及/或驅動單元上卸下，方便使用者取出真空腔體內的粉末，并清潔真空腔體。

本發明的一目的，在于提供一種可拆式粉末原子層沉積裝置，主要包括一驅動單元、一軸封裝置及一真空腔體，其中驅動單元連接軸封裝置，而軸封裝置的另一端則透過至少一連接單元鎖固在真空腔體上，使得驅動單元可透過軸封裝置驅動真空腔體轉動。在完成原子層沉積制程后，可將真空腔體由軸封裝置上卸下，以利于使用者將真空腔體內的粉末取出，并清潔真空腔體，以提高使用時的便利性。