[發明專利]一種半導體單晶爐中爐筒升降旋轉裝置

有效

• 申請號: 202011281323.4
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN112501682B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 逯占文;邢志國;劉海;李揚;綦宗升
• 申請（專利權）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體單晶爐中爐筒升降旋轉裝置，包括底板（4），其特征在于，所述底板（4）的頂部外壁通過軸承連接有轉桿，所述轉桿的頂端外壁通過螺栓固定有轉板（19），所述轉板（19）頂部外壁的兩側均通過螺栓固定有滑竿（13），所述滑竿（13）的外壁滑動連接有第二滑套（18），所述第二滑套（18）的外壁通過螺栓固定有升降桿（20），所述升降桿（20）的頂端外壁通過螺栓固定有滑塊，所述底板（4）的一邊外壁通過螺栓固定有固定板（3），所述固定板（3）的頂部外壁開有插接孔，所述插接孔的內壁插接有伸縮板（11），所述伸縮板（11）的底部外壁通過軸承連接有升降板（10），所述升降板（10）的底部外壁開有第一滑槽，所述第一滑槽的內壁通過螺栓固定有第一滑軌（17），所述滑塊的外壁與第一滑軌（17）的內壁形成滑動配合，所述轉板（19）的兩側外壁均通過螺栓固定有側板（9），所述側板（9）的一側外壁通過螺栓固定有電動伸縮桿（2），所述升降板（10）的一邊外壁設置有中爐筒固定機構，所述底板（4）的頂部外壁設置有旋轉機構，所述電動伸縮桿（2）活塞桿的一端通過螺栓固定有第一滑套（1），且第一滑套（1）的內壁與升降桿（20）的外壁形成滑動配，所述中爐筒固定機構包括頂板（8）和中爐筒本體（6），頂板（8）的底部外壁通過螺栓固定有掛板（7），且掛板的頂部外壁開有等距離分布的插接孔，插接孔的內壁插接有固定扣（14），固定扣（14）的外壁套接有伸縮彈簧（16），所述中爐筒本體（6）的頂部外壁通過螺栓固定有連接板（15），且連接板（15）和中爐筒本體（6）之間形成卡接槽，卡接槽的內壁和固定扣（14）的外壁配合使用，所述滑竿（13）的頂端外壁通過螺栓固定有擋板（12），且擋板（12）和升降板（10）配合使用。

2.根據權利要求1所述的一種半導體單晶爐中爐筒升降旋轉裝置，其特征在于，所述旋轉機構包括豎板，豎板的一側外壁通過螺栓固定有電機（22），且電機（22）的輸出軸通過聯軸器連接有主動齒輪（21）。

3.根據權利要求1所述的一種半導體單晶爐中爐筒升降旋轉裝置，其特征在于，所述轉桿的外壁通過螺栓固定有從動齒輪（5），且主動齒輪（21）和從動齒輪（5）相嚙合。

4.根據權利要求1所述的一種半導體單晶爐中爐筒升降旋轉裝置，其特征在于，所述底板（4）的頂部外壁開有環形滑槽，且環形滑槽的內壁通過螺栓固定有環形滑軌（24），轉桿的兩邊外壁與底部外壁的兩側均通過螺栓固定有安裝桿（23），安裝桿（23）的一端通過螺栓固定有萬向輪（25），萬向輪（25）的外壁與環形滑軌（24）的內壁形成滑動配合。