[發(fā)明專利]化學(xué)機械研磨設(shè)備防碰撞偵測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011280766.1
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN112405327B
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李峰;劉宇龍
• 申請（專利權(quán)）人: 吉姆西半導(dǎo)體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: B24B37/005
• 分類號: B24B37/005;B24B37/04;B24B37/34;B24B49/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.化學(xué)機械研磨設(shè)備防碰撞偵測系統(tǒng)，其特征在于：包括支撐單元（1）和打磨單元（2）；所述支撐單元（1）包括轉(zhuǎn)軸（11）、轉(zhuǎn)盤（12）和研磨墊（13）；所述轉(zhuǎn)軸（11）通過一端外接馬達驅(qū)動轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸（11）的另一端固接在轉(zhuǎn)盤（12）的一端面中間位置；所述轉(zhuǎn)盤（12）的另一端面固接研磨墊（13）的一表面，研磨墊（13）的另一表面承載有所要研磨的晶元體；所述支撐單元（1）的一側(cè)打磨單元（2）；

所述打磨單元（2）包括轉(zhuǎn)動桿（21）、橫桿（22）、電機（23）和研磨頭（24）；所述轉(zhuǎn)動桿（21）的一端通過外接馬達驅(qū)動轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動桿（21）的另一端固接橫桿（22）的一端，橫桿（22）的另一端固接電機（23），電機（23）的輸出軸端部固接研磨頭（24），研磨頭（24）的研磨端面伸向研磨墊（13）；

所述電機（23）與研磨頭（24）之間設(shè)有圓柱形狀的基板（25）；所述基板（25）的上端面固接在電機（23）的下端面，基板（25）的中間位置開設(shè)通孔（251），通孔（251）的內(nèi)圈間隙配合電機（23）的輸出軸外圈，基板（25）的下端面與研磨頭（24）的上端面之間留有間隙，基板（25）的外圈上設(shè)有距離傳感器（26）,距離傳感器（26）電性連接外界操控電腦；

所述基板（25）的外圈側(cè)壁上開環(huán)形槽（27），環(huán)形槽（27）內(nèi)設(shè)有多個連接板（271）；每個所述連接板（271）的剖切面呈字母“T”形狀，每個連接板（271）的豎直兩端嵌在環(huán)形槽（27）內(nèi)，每個連接板（271）的水平端上固接距離傳感器（26），且距離傳感器（26）的發(fā)射端指向外界的研磨墊用調(diào)節(jié)器；

每個所述連接板（271）的豎直端側(cè)壁上設(shè)有彈簧（272）；所述彈簧（272）的一端固接在連接板（271）的豎直端側(cè)壁上，彈簧（272）的另一端貼附擠壓在環(huán)形槽（27）的側(cè)壁上；

所述環(huán)形槽（27）的槽口上開設(shè)通槽（273），通槽（273）的槽口長度和寬度與大于連接板（271）的豎直端長度和寬度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨設(shè)備防碰撞偵測系統(tǒng)，其特征在于：所述橫桿（22）的下方設(shè)有支撐桿（221）和滑軌（222）；所述支撐桿（221）的一端固接在橫桿（22）的中間位置，支撐桿（221）的另一端滑動連接在滑軌（222）內(nèi)；所述滑軌（222）呈半圓環(huán)狀，滑軌（222）的軸線與轉(zhuǎn)動桿（21）的軸線同線。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機械研磨設(shè)備防碰撞偵測系統(tǒng)，其特征在于：所述支撐桿（221）的另一端開設(shè)凹槽，凹槽內(nèi)設(shè)有滾珠（223）；所述滾珠（223）滾動連接在凹槽內(nèi)，滾珠（223）滾動連接在滑軌（222）內(nèi)。