[發(fā)明專利]一種真空磁控濺射鍍膜設(shè)備除渣裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011275219.4
• 申請(qǐng)日: 2020-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN112458426B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭壽;蔣洋;官敏;宋曉貞;王偉;張少波;樊黎虎;馬迎;鐘汝梅;周道鈞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 凱盛信息顯示材料（洛陽）有限公司;凱盛科技集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 昆明合眾智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 53113
• 代理人: 張璽

本發(fā)明公開了一種真空磁控濺射鍍膜設(shè)備除渣裝置，包括U型板、套筒和伸出筒，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一固定連接有螺紋絲桿，所述螺紋絲桿依次活動(dòng)穿過伸出槽、動(dòng)力槽、螺紋槽，且螺紋絲桿活動(dòng)伸入壓氣槽中，所述伸出筒外側(cè)設(shè)置有與套筒配合的內(nèi)螺紋，所述伸出筒內(nèi)固定設(shè)置有彈性氣囊，伸出卡槽的部分所述彈性氣囊固定連接有清理塊一，所述卡槽中活動(dòng)設(shè)置有止氣桿，且止氣桿卡住彈性氣囊，所述伸出筒側(cè)壁固定連接有清理塊二，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪二與轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一嚙合連接，本發(fā)明在使用中，通過清理塊一和清理塊二對(duì)通道擋板內(nèi)部和下方的濺射殘?jiān)M(jìn)行清理，實(shí)現(xiàn)對(duì)濺射殘?jiān)娜媲謇恚⑼ㄟ^U型板對(duì)清理后的濺射殘?jiān)M(jìn)行收集，防止二次污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種真空磁控濺射鍍膜設(shè)備除渣裝置。

背景技術(shù)

磁控濺射鍍膜是指在真空條件下，將涂層材料作為陰極靶，利用氬離子轟擊靶材，產(chǎn)生陰極濺射，把靶材原子濺射到工件上形成鍍層的鍍膜技術(shù)。但是，在進(jìn)行濺射鍍膜過程中，會(huì)出現(xiàn)濺射物堆積，使得濺射通道堵塞，影響鍍膜效果，同時(shí)側(cè)壁下方濺射物堆積過多，會(huì)劃傷鍍膜件，造成產(chǎn)品報(bào)廢。

現(xiàn)有技術(shù)中，申請(qǐng)?zhí)枮椤?01610856369.1”的一種清理裝置、磁控濺射鍍膜機(jī)及玻璃鍍膜方法，通過在傳送裝置上安裝傳送主體，在傳送主體上連接彈性件，通過彈性件與濺射通道接觸，對(duì)濺射殘?jiān)M(jìn)行清理。

但現(xiàn)有技術(shù)仍存在較多缺陷，如：1，濺射殘?jiān)趶椥约哪Σ两佑|下與濺射通道脫離，但無法對(duì)清理下來的濺射殘?jiān)M(jìn)行收集，濺射殘?jiān)⒙湓谘b置中造成二次污染；2，采用彈性件無法對(duì)濺射殘?jiān)M(jìn)行全面清理，如彈性件無法清理位于濺射通道內(nèi)側(cè)的濺射殘?jiān)?/p>

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種真空磁控濺射鍍膜設(shè)備除渣裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種真空磁控濺射鍍膜設(shè)備除渣裝置，包括：

U型板，所述U型板側(cè)板由上至下開設(shè)有依次連通的伸出槽、動(dòng)力槽、螺紋槽和壓氣槽，所述壓氣槽一側(cè)連接有通氣槽；

所述伸出槽中活動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一，且轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一伸出伸出槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一固定連接有螺紋絲桿，所述螺紋絲桿遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一的一端依次活動(dòng)穿過伸出槽、動(dòng)力槽、螺紋槽，且螺紋絲桿活動(dòng)伸入壓氣槽中；

所述動(dòng)力槽中活動(dòng)設(shè)置有主轉(zhuǎn)輪，所述主轉(zhuǎn)輪嚙合連接有從轉(zhuǎn)輪，且螺紋絲桿與從轉(zhuǎn)輪活動(dòng)連接，所述螺紋絲桿伸入壓氣槽的一端固定連接有活塞；

套筒，所述套筒固定設(shè)置在U型板底板上，且套筒內(nèi)側(cè)設(shè)置有內(nèi)螺紋；以及

伸出筒，所述伸出筒活動(dòng)設(shè)置在套筒內(nèi)部，且伸出筒外側(cè)設(shè)置有與套筒配合的內(nèi)螺紋，所述伸出筒內(nèi)固定設(shè)置有彈性氣囊，且彈性氣囊與壓氣槽連通；

所述伸出筒上端側(cè)壁開設(shè)有卡槽，伸出卡槽的部分所述彈性氣囊固定連接有清理塊一，所述清理塊一中活動(dòng)穿過有刺穿桿，且刺穿桿尖端靠近彈性氣囊，且刺穿桿與清理塊一內(nèi)壁間固定連接有彈性桿；

所述卡槽中活動(dòng)設(shè)置有止氣桿，且止氣桿卡住彈性氣囊，所述伸出筒側(cè)壁固定連接有清理塊二，且清理塊二位于卡槽下方，所述清理塊二上部活動(dòng)伸出有擠壓桿，所述擠壓桿與止氣桿間固定連接有同位桿，且擠壓桿與清理塊二內(nèi)壁間固定連接有彈性墊塊；

所述伸出筒外側(cè)固定套設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪二，且轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪二位于清理塊二下方，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪二與轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一嚙合連接，且轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪二高度滿足轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一運(yùn)動(dòng)至最低點(diǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪一與轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪二仍不脫離。

優(yōu)選的，所述螺紋絲桿活動(dòng)穿過從轉(zhuǎn)輪，且螺紋絲桿開設(shè)有滑動(dòng)槽，所述從轉(zhuǎn)輪內(nèi)側(cè)固定連接有插入塊，且插入塊活動(dòng)伸入滑動(dòng)槽中。

優(yōu)選的，所述主轉(zhuǎn)輪固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿由電機(jī)驅(qū)動(dòng)。